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Analyse et technologie des surfaces
(4.2)
On trouve expérimentalement que la section efficace d’ionisation σ AW passe
par un maximum vers E p /E AW = 3. Pour des valeurs plus élevées, elle décroît lentement, comme le montre la figure 4.5. La probabilité d’ionisation suivie d’une
désexcitation via le processus Auger est de 1 sur 10 4 , c’est-à-dire que les électrons
Auger se trouvent superposés à un fond d’électrons secondaires comme l’a montré
la figure 4.3.
4.3.3 Rendement d’émission
La figure 4.2 montrait le schéma du processus Auger. Nous avions vu qu’après
ionisation du niveau W, la désexcitation se poursuit par la transition de l’électron du
niveau X au niveau W et l’émission d’un électron du niveau Y. Les probabilités
d’émission d’un électron Auger p KLL ou d’un photon p X, KL d’énergie hν = E K – E L
varient selon les règles de la physique quantique avec le numéro atomique Z. Elles
sont différentes pour les niveaux de seuil K ou L (p X, KL , p X, LM , p X, MN ...) comme
l’indique schématiquement la figure 4.6.
On observe que pour le niveau K, le rendement d’émission d’un électron
Auger est très élevé dans le cas des éléments légers en prenant des transitions KLL.
Le processus concurrentiel – l’émission d’un photon à la place d’un électron Auger
– n’est que peu probable. Pour des éléments lourds, le rendement et ainsi la sensibilité restent élevés, pour autant qu’on utilise une transition de type LMM ou
MNN.
σ AW
F E p /E AW
(
)
E AW
2
---------------------------- -
=
1,0
0,5
0
0
5
1 0
E p /E AW
σ AW
Fig. 4.5 Variation de la section efficace d’ionisation σ AW suivie d’une émission d’un électron Auger
en fonction de l’énergie primaire E p et de l’énergie de seuil E AW mesurée pour les éléments Be, C, Si
et Ag (d’après [4.5]).
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