CHAPITRE 4
SPECTROSCOPIE D’ÉLECTRONS AUGER
4.1 OBJECTIFS
• Introduire la théorie de base de la spectroscopie des électrons Auger y compris la quantification.
• Décrire l’instrumentation.
• Donner quelques exemples.
4.2 MÉTHODE
La spectroscopie d’électrons Auger (AES: Auger Electron Spectroscopy) représente aujourd’hui la plus importante des méthodes d’analyse chimique de surface
pour les conducteurs et semiconducteurs. Elle est basée sur l’excitation des électrons
«Auger». C’est en 1925 que Pierre Auger a décrit l’émission d’un rayonnement β
lors de l’ionisation d’un gaz par un faisceau de rayons X [4.1, 4.2]. L’ionisation des
e p
e Auger
surface
électrons secondaires
et rétrodiffusés
atomes ionisés
au niveau du cœur
électrons primaires
rayons X
électrons
Auger [nm]
faisceau d’électrons
primaires
1 µm
D
Fig. 4.1 Schéma de la distribution des électrons primaires, Auger et rétrodiffusés, ainsi que des
rayons X sous bombardement d’un faisceau d’électrons primaires focalisé et d’un diamètre D.
SPECTROSCOPIE D’ÉLECTRONS AUGER
4.1 OBJECTIFS
• Introduire la théorie de base de la spectroscopie des électrons Auger y compris la quantification.
• Décrire l’instrumentation.
• Donner quelques exemples.
4.2 MÉTHODE
La spectroscopie d’électrons Auger (AES: Auger Electron Spectroscopy) représente aujourd’hui la plus importante des méthodes d’analyse chimique de surface
pour les conducteurs et semiconducteurs. Elle est basée sur l’excitation des électrons
«Auger». C’est en 1925 que Pierre Auger a décrit l’émission d’un rayonnement β
lors de l’ionisation d’un gaz par un faisceau de rayons X [4.1, 4.2]. L’ionisation des
e p
e Auger
surface
électrons secondaires
et rétrodiffusés
atomes ionisés
au niveau du cœur
électrons primaires
rayons X
électrons
Auger [nm]
faisceau d’électrons
primaires
1 µm
D
Fig. 4.1 Schéma de la distribution des électrons primaires, Auger et rétrodiffusés, ainsi que des
rayons X sous bombardement d’un faisceau d’électrons primaires focalisé et d’un diamètre D.