Topographie et épaisseur des couches minces
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Les résolutions latérales et verticales sont limitées par les géométries du palpeur et de la surface analysée et cela es illustré sur la figure 2.13.
Pour une marche (points 1 et 4), le rayon de courbure du palpeur (P) ou le diamètre du laser détermine la résolution. Toutefois, en général, la précision d’une
mesure de hauteur n’est déterminée que par la résolution du système d’asservissement mécanique ou le système optique. Des endroits cachés comme le point 2 dans
la figure 2.13 ne sont pas accessibles ni par un rugosimètre mécanique ou optique ni
par un interféromètre. Une contamination illustrée par le point 3 sera vue par le
rugosimètre comme une partie de la surface. Si la dimension d’un trou ou d’un pore
(point 5) est inférieure au diamètre du palpeur, la mesure sera fausse également. Les
rugosimètres courants ont une résolution latérale de 0,1-1 µm et une résolution verticale de 1-2 nm.
2.5 RÉSUMÉ
La caractérisation de la topographie d’un objet peut être réalisée par diverses techniques comme les systèmes mécaniques ou optiques ou même par l’interférométrie. En
mode mécanique, le stylet de mesure est en contact avec la surface, contrairement aux
Fig. 2.12 Tracé selon la ligne A-B définie à la figure 2.9.
0
0,2
0,4
0,6
0,8
1,0
–5
0
5
10
A-B [mm]
z
[µm]
Fig. 2.13 Limites de résolution latérale pour un rugosimètre de type palpeur P ou laser pour diverses
géométries d’une surface.
1
2
3
4
5
P