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Analyse et technologie des surfaces
15.12 BIBLIOGRAPHIE
[15.1] A.L. REIMANN, Technique du Vide, Dunod, Paris, 1956.
[15.2] INSA, Techniques et applications de l’ultravide, Masson, 1969.
[15.3] L.I. MAISSEL et R. GLANG, Handbook of Thin Film Technology, McGraw-Hill, NY, 1983.
[15.4] ATTT/CETIM, Dépôt par voie thermochimique (CVD) et diffusion de métaux, Senlis, 1989.
[15.5] P. DUVAL, Le Vide, ses applications et son obtention, SFV, 1989.
Analyse et technologie des surfaces
15.12 BIBLIOGRAPHIE
[15.1] A.L. REIMANN, Technique du Vide, Dunod, Paris, 1956.
[15.2] INSA, Techniques et applications de l’ultravide, Masson, 1969.
[15.3] L.I. MAISSEL et R. GLANG, Handbook of Thin Film Technology, McGraw-Hill, NY, 1983.
[15.4] ATTT/CETIM, Dépôt par voie thermochimique (CVD) et diffusion de métaux, Senlis, 1989.
[15.5] P. DUVAL, Le Vide, ses applications et son obtention, SFV, 1989.
