Revêtements à partir d’une phase gazeuse (PVD/CVD)
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15.11 EXERCICES
15.11.1 Comparer les gammes de tension de vapeur que l’on peut obtenir en dessus
d’un alliage or et étain.
15.11.2 Calculer le taux d’évaporation en g/sec pour l’aluminium avec une surface fondue circulaire d’un diamètre de 20 mm et une température du métal fondu de 900 ˚C.
15.11.3 Déterminer les conditions pour déposer par évaporation à partir d’un seul
creuset l’alliage AuNi2.
15.11.4 Déterminer les températures des métaux fondus et les surfaces des creusets
pour le dépôt d’un laiton CuSn30Pb5.
15.11.5 Calculer le vide nécessaire pour assurer un taux de recouvrement avec du
gaz rémanent inférieur à 10% pour un dépôt de GaAs par MBE, qui procède avec
une vitesse de 0,5 nm/sec.
15.11.6 Comparer la vitesse moyenne et l’énergie cinétique moyenne d’un atome de
Ga et d’un trimère de Ga sortant d’une cellule Knudsen à 400˚C.
15.11.7 Quel est le volume de 0,5 g d’eau à la pression de 10 mPa à la température
ambiante?
15.11.8 Une pompe a un débit de 3000 l/sec à la pression de 0,3 Pa. Le gaz est un
mélange d’hydrogène et de TiCl 4 avec un rapport de quantité de 10: 1. Calculer la
quantité de TiCl 4 pompée par heure en g.
15.11.9 Calculer la vitesse moyenne des atomes d’azote dans une direction dans un
volume de 1000 mm 3 à 1 Pa qu’on a chauffé avec 0,1 MJ. Il s’agit de l’énergie
transférée au gaz!
15.11.10 Calculer le flux d’évaporation de titane avec les hypothèses suivantes:
• température du titane liquide: 1900 ˚ C;
• la pression de titane en dessus de la fonte est donnée par l’équation de ClausiusClapeyron;
• la température de la vapeur de titane correspond à celle de la fonte;
• la surface de la zone fondue est de 400 mm 2 .
15.11.11 Comparer la vitesse de croissance latérale et verticale d’un germe aux
conditions suivantes:
• température: 500 ˚C,
• ∆G sd: 10 kcal/mol,
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15.11 EXERCICES
15.11.1 Comparer les gammes de tension de vapeur que l’on peut obtenir en dessus
d’un alliage or et étain.
15.11.2 Calculer le taux d’évaporation en g/sec pour l’aluminium avec une surface fondue circulaire d’un diamètre de 20 mm et une température du métal fondu de 900 ˚C.
15.11.3 Déterminer les conditions pour déposer par évaporation à partir d’un seul
creuset l’alliage AuNi2.
15.11.4 Déterminer les températures des métaux fondus et les surfaces des creusets
pour le dépôt d’un laiton CuSn30Pb5.
15.11.5 Calculer le vide nécessaire pour assurer un taux de recouvrement avec du
gaz rémanent inférieur à 10% pour un dépôt de GaAs par MBE, qui procède avec
une vitesse de 0,5 nm/sec.
15.11.6 Comparer la vitesse moyenne et l’énergie cinétique moyenne d’un atome de
Ga et d’un trimère de Ga sortant d’une cellule Knudsen à 400˚C.
15.11.7 Quel est le volume de 0,5 g d’eau à la pression de 10 mPa à la température
ambiante?
15.11.8 Une pompe a un débit de 3000 l/sec à la pression de 0,3 Pa. Le gaz est un
mélange d’hydrogène et de TiCl 4 avec un rapport de quantité de 10: 1. Calculer la
quantité de TiCl 4 pompée par heure en g.
15.11.9 Calculer la vitesse moyenne des atomes d’azote dans une direction dans un
volume de 1000 mm 3 à 1 Pa qu’on a chauffé avec 0,1 MJ. Il s’agit de l’énergie
transférée au gaz!
15.11.10 Calculer le flux d’évaporation de titane avec les hypothèses suivantes:
• température du titane liquide: 1900 ˚ C;
• la pression de titane en dessus de la fonte est donnée par l’équation de ClausiusClapeyron;
• la température de la vapeur de titane correspond à celle de la fonte;
• la surface de la zone fondue est de 400 mm 2 .
15.11.11 Comparer la vitesse de croissance latérale et verticale d’un germe aux
conditions suivantes:
• température: 500 ˚C,
• ∆G sd: 10 kcal/mol,