Revêtements à partir d’une phase gazeuse (PVD/CVD)
271
Elimination par absorption sur une grande surface: pompes getter
Elimination par réaction avec un métal frais:
pompes à sublimation (Ti)
La désignation four n’est utilisée que pour les enceintes avec chauffage supplémentaire. Les fours où la chaleur de réaction ou du plasma dépasse la température
de réaction désirée sont des enceintes à vide refroidies.
Il y a essentiellement 4 types d’installations:
• Monopièce avec recharge continue
Les pièces sont traitées une après une. A chaque étape du procédé correspond au
moins une enceinte. Cette famille comprend des grandes installations de revêtement
de tôle en continue, des équipements pour tôles ou fil de bobine, des machines pour
des panneaux de verre pour l’architecture (décoration, barrière thermique, conversion d’énergie), des plaques de verre pour les affichages plats, pare-brise. Ces installations travaillent soit avec un sas de chargement et déchargement qui accepte un
lot de pièces soit avec un joint avec pompage différentiel. Elles sont utilisées entre
autres pour les câbles de verre pour la télécommunication, les fils pour les pneus, les
ailes de turbine pour réacteurs d’avion.
• Monopièce avec recharge cadencée avec ou sans sas (fig. 15.14)
Les pièces sont chargées une par une dans une petite enceinte adaptée à leur taille et
au procédé pour être traitées. Cette conception se prête bien pour des procédés rapides. Des productions importantes peuvent être assurées par un grand nombre de
postes travaillant en parallèle – arrangés en cercle ou en ligne. Elles sont utilisées
entre autres pour les CD, ampoules électriques, tubes de télévision.
Des solutions intermédiaires peuvent être des machines où l’on charge un rouleau
complet qui est revêtu par défilement continue devant la(les) source(s): rouleaux
d’étoffes, feuilles plastiques pour emballages (fig. 15.15), écrans thermiques des
vitres, billets de banque.
Fig. 15.14 Installation pour le revêtement de disques optiques (par courtoisie de Balzers Process
Systems).
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Elimination par absorption sur une grande surface: pompes getter
Elimination par réaction avec un métal frais:
pompes à sublimation (Ti)
La désignation four n’est utilisée que pour les enceintes avec chauffage supplémentaire. Les fours où la chaleur de réaction ou du plasma dépasse la température
de réaction désirée sont des enceintes à vide refroidies.
Il y a essentiellement 4 types d’installations:
• Monopièce avec recharge continue
Les pièces sont traitées une après une. A chaque étape du procédé correspond au
moins une enceinte. Cette famille comprend des grandes installations de revêtement
de tôle en continue, des équipements pour tôles ou fil de bobine, des machines pour
des panneaux de verre pour l’architecture (décoration, barrière thermique, conversion d’énergie), des plaques de verre pour les affichages plats, pare-brise. Ces installations travaillent soit avec un sas de chargement et déchargement qui accepte un
lot de pièces soit avec un joint avec pompage différentiel. Elles sont utilisées entre
autres pour les câbles de verre pour la télécommunication, les fils pour les pneus, les
ailes de turbine pour réacteurs d’avion.
• Monopièce avec recharge cadencée avec ou sans sas (fig. 15.14)
Les pièces sont chargées une par une dans une petite enceinte adaptée à leur taille et
au procédé pour être traitées. Cette conception se prête bien pour des procédés rapides. Des productions importantes peuvent être assurées par un grand nombre de
postes travaillant en parallèle – arrangés en cercle ou en ligne. Elles sont utilisées
entre autres pour les CD, ampoules électriques, tubes de télévision.
Des solutions intermédiaires peuvent être des machines où l’on charge un rouleau
complet qui est revêtu par défilement continue devant la(les) source(s): rouleaux
d’étoffes, feuilles plastiques pour emballages (fig. 15.15), écrans thermiques des
vitres, billets de banque.
Fig. 15.14 Installation pour le revêtement de disques optiques (par courtoisie de Balzers Process
Systems).