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Analyse et technologie des surfaces
• Le dépôt de carbone adamantin sur les disques durs pour les protéger de
l’abrasion.
• Le dépôt de carbone adamantin renforcé au carbure sur les pignons des boîtes à vitesse, et les composants des trains d’injection du combustible des voitures.
• La protection contre la dissolution des aciers et alliages d’aluminium pour
les applications alimentaires, y compris les boîtes de conserves.
• Le durcissement des plastiques.
• L’étanchéité des piles.
15.9 ÉQUIPEMENTS
Les traitements de surface à partir d’une phase gazeuse doivent se faire sous
une atmosphère contrôlée. Elle implique donc le transfert des pièces dans un four
approprié, qui sera évacué – créant un vide – plus ou moins complètement pour être
rempli jusqu’à la pression de travail par un mélange de gaz protecteurs et de
réactants. Le tableau 15.4 résume les gammes de pressions, la désignation du vide
correspondant et le régime de transport.
Tableau 15.4 Résumé des gammes de pression de travail pour un dépôt à partir d’une phase
gazeuse, la désignation du vide correspondant et le régime de transport.
Un vide plus bas correspond à une pression plus basse. La bonne pratique
consiste à passer à un niveau de vide plus bas avant le remplissage avec le gaz du
procédé de dépôt. Un niveau de vide correspond aussi à peu près à la compression
qui peut être fournie par une pompe. Il existe des pompes qui combinent plusieurs
pompes en une seule. On les appelle des pompes à étages. Pour atteindre un vide
poussé, on utilise des combinaisons de pompes mécaniques et de «pompes
secondaires». Pour les pompes secondaires, on a le choix entre les mécanismes de
pompages suivants:
Entraînement par un jet de fluide:
pompes à diffusion
Entraînement par des paliers mécaniques
en rotation très rapide:
pompe turbomoléculaire
Elimination par condensation:
pompes cryogéniques
Gamme de pression
Désignation
Régime de transport
> 10 5 Pa
Surpression
Flux turbulent et laminaire
~ 10 5 Pa
Pression atmosphérique
Flux turbulent et laminaire
10 3 Pa-10 5 Pa
Vide grossier
Flux de plus en plus laminaire
1-10 3 Pa
Vide moyen
Flux laminaire
10 –3 Pa-1 Pa
Vide poussé
Flux moléculaire
<| 1 mPa
Ultravide
Flux moléculaire
Analyse et technologie des surfaces
• Le dépôt de carbone adamantin sur les disques durs pour les protéger de
l’abrasion.
• Le dépôt de carbone adamantin renforcé au carbure sur les pignons des boîtes à vitesse, et les composants des trains d’injection du combustible des voitures.
• La protection contre la dissolution des aciers et alliages d’aluminium pour
les applications alimentaires, y compris les boîtes de conserves.
• Le durcissement des plastiques.
• L’étanchéité des piles.
15.9 ÉQUIPEMENTS
Les traitements de surface à partir d’une phase gazeuse doivent se faire sous
une atmosphère contrôlée. Elle implique donc le transfert des pièces dans un four
approprié, qui sera évacué – créant un vide – plus ou moins complètement pour être
rempli jusqu’à la pression de travail par un mélange de gaz protecteurs et de
réactants. Le tableau 15.4 résume les gammes de pressions, la désignation du vide
correspondant et le régime de transport.
Tableau 15.4 Résumé des gammes de pression de travail pour un dépôt à partir d’une phase
gazeuse, la désignation du vide correspondant et le régime de transport.
Un vide plus bas correspond à une pression plus basse. La bonne pratique
consiste à passer à un niveau de vide plus bas avant le remplissage avec le gaz du
procédé de dépôt. Un niveau de vide correspond aussi à peu près à la compression
qui peut être fournie par une pompe. Il existe des pompes qui combinent plusieurs
pompes en une seule. On les appelle des pompes à étages. Pour atteindre un vide
poussé, on utilise des combinaisons de pompes mécaniques et de «pompes
secondaires». Pour les pompes secondaires, on a le choix entre les mécanismes de
pompages suivants:
Entraînement par un jet de fluide:
pompes à diffusion
Entraînement par des paliers mécaniques
en rotation très rapide:
pompe turbomoléculaire
Elimination par condensation:
pompes cryogéniques
Gamme de pression
Désignation
Régime de transport
> 10 5 Pa
Surpression
Flux turbulent et laminaire
~ 10 5 Pa
Pression atmosphérique
Flux turbulent et laminaire
10 3 Pa-10 5 Pa
Vide grossier
Flux de plus en plus laminaire
1-10 3 Pa
Vide moyen
Flux laminaire
10 –3 Pa-1 Pa
Vide poussé
Flux moléculaire
<| 1 mPa
Ultravide
Flux moléculaire