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Analyse et technologie des surfaces
quand ceux-ci sont lents et proches de l’équilibre, un peu comme les courbes de
transformation isothermes des aciers [10.7], qui sont très utiles pour les recuits. Le
texte le plus répandu sur le PVD/CVD est l’ouvrage de Maissel et Glang [15.3] qui
lui consacrent une partie très importante. Mais les ingénieurs ont cherché une représentation plus simple pour leur optimisation quotidienne des procédés.
Pour les métaux, Movchan et Demchichin avaient trouvé un modèle à 4 zones
en fonction du rapport température de surface, T S /température de fusion, T F :
• Zone 1: croissance nodulaire ou colonnaire: T S /T F < 0,3. La mobilité de surface est négligeable. Les atomes qui condensent restent sur leur site
d’adsorption: revêtements peu denses avec porosité ouverte, croissance par
compétition de cônes, influence importante de l’angle d’exposition. Cette
structure est esquissée dans la figure 14.9.
• Zone T: croissance nanofibreuse: 0,3 < T S /T F < 0,5. Grand nombre de germes de faible extension latérale qui, le plus souvent, continuent jusqu’à la
surface. Dépôt dense qui frise l’amorphe.
• Zone 2: croissance microcristalline orientée ou équiaxiale: 0,5 < T S /T F < 0,7:
croissance à partir de germes microniques. Les cristaux s’étendent normalement jusqu’à la surface et consistent donc en prismes, dont la longueur correspond à l’épaisseur du dépôt, séparés de joints de grains.
• Zone 3: croissance isotrope.
La figure 15.8 montre un revêtement PVD, qui comprend un premier dépôt de
la zone 2 surplombé d’un revêtement de la zone T.
Fig. 15.8 Superposition de deux revêtements PVD avec une croissance correspondant aux zones 2 et
T respectivement. Le revêtement épais est un revêtement dur: Mo 0,6 Ti 0,4 N cubique. Le revêtement
mince est un revêtement autolubrifiant: MoS 2 Ni 20. Les deux ont été déposés par pulvérisation
cathodique non réactive.
Analyse et technologie des surfaces
quand ceux-ci sont lents et proches de l’équilibre, un peu comme les courbes de
transformation isothermes des aciers [10.7], qui sont très utiles pour les recuits. Le
texte le plus répandu sur le PVD/CVD est l’ouvrage de Maissel et Glang [15.3] qui
lui consacrent une partie très importante. Mais les ingénieurs ont cherché une représentation plus simple pour leur optimisation quotidienne des procédés.
Pour les métaux, Movchan et Demchichin avaient trouvé un modèle à 4 zones
en fonction du rapport température de surface, T S /température de fusion, T F :
• Zone 1: croissance nodulaire ou colonnaire: T S /T F < 0,3. La mobilité de surface est négligeable. Les atomes qui condensent restent sur leur site
d’adsorption: revêtements peu denses avec porosité ouverte, croissance par
compétition de cônes, influence importante de l’angle d’exposition. Cette
structure est esquissée dans la figure 14.9.
• Zone T: croissance nanofibreuse: 0,3 < T S /T F < 0,5. Grand nombre de germes de faible extension latérale qui, le plus souvent, continuent jusqu’à la
surface. Dépôt dense qui frise l’amorphe.
• Zone 2: croissance microcristalline orientée ou équiaxiale: 0,5 < T S /T F < 0,7:
croissance à partir de germes microniques. Les cristaux s’étendent normalement jusqu’à la surface et consistent donc en prismes, dont la longueur correspond à l’épaisseur du dépôt, séparés de joints de grains.
• Zone 3: croissance isotrope.
La figure 15.8 montre un revêtement PVD, qui comprend un premier dépôt de
la zone 2 surplombé d’un revêtement de la zone T.
Fig. 15.8 Superposition de deux revêtements PVD avec une croissance correspondant aux zones 2 et
T respectivement. Le revêtement épais est un revêtement dur: Mo 0,6 Ti 0,4 N cubique. Le revêtement
mince est un revêtement autolubrifiant: MoS 2 Ni 20. Les deux ont été déposés par pulvérisation
cathodique non réactive.