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Analyse et technologie des surfaces
la surtension à laquelle on plaque. Ce n’est pas un hasard si les conséquences de travail sous une surtension élevée sont les mêmes en plaquage et en PVD: nous obtenons
des revêtements avec une plus forte densité de défauts, des tensions internes compressives et une dureté plus élevée: chrome dur, TiN pour plaquage ionique.
La cristallinité des dépôts est probablement souvent le résultat d’une transformation de phase solide/solide. La densité du dépôt va varier avec l’angle d’exposition de la surface du substrat par rapport à la source.
Ce fait est exploité habilement dans certaines applications où l’on recherche
une structure ouverte:
• pour une réaction de conversion (électro-)chimique hétérogène: électrodes
de piles à combustibles (fig. 15.6);
• pour une adsorption orienté de macromolécules: électrodes pour affichages
de cristaux liquides du type guest host;
• pour une interaction biologique: implants.
La méthode de choix pour analyser cette croissance est la méthode de dynamique moléculaire. Dans cette méthode on modélise l’évolution d’un ensemble d’atomes ou de molécules dans le temps à partir des conditions initiales. Dans le cas présent des atomes de la matière évaporée avec un certain vecteur de vitesse qui
condensent sur une surface où ils ont une certaine probabilité de se déplacer encore.
Il s’agit donc de simuler le résultat du mouvement des ~10 23 atomes par l’étude
exacte du mouvement d’un nombre restreint. La simulation est faite sur un ordinateur.
Fig. 15.6 Dépôt de In 2 O 3 . Sublimation par canon à électron courant fort /basse tension.
Analyse et technologie des surfaces
la surtension à laquelle on plaque. Ce n’est pas un hasard si les conséquences de travail sous une surtension élevée sont les mêmes en plaquage et en PVD: nous obtenons
des revêtements avec une plus forte densité de défauts, des tensions internes compressives et une dureté plus élevée: chrome dur, TiN pour plaquage ionique.
La cristallinité des dépôts est probablement souvent le résultat d’une transformation de phase solide/solide. La densité du dépôt va varier avec l’angle d’exposition de la surface du substrat par rapport à la source.
Ce fait est exploité habilement dans certaines applications où l’on recherche
une structure ouverte:
• pour une réaction de conversion (électro-)chimique hétérogène: électrodes
de piles à combustibles (fig. 15.6);
• pour une adsorption orienté de macromolécules: électrodes pour affichages
de cristaux liquides du type guest host;
• pour une interaction biologique: implants.
La méthode de choix pour analyser cette croissance est la méthode de dynamique moléculaire. Dans cette méthode on modélise l’évolution d’un ensemble d’atomes ou de molécules dans le temps à partir des conditions initiales. Dans le cas présent des atomes de la matière évaporée avec un certain vecteur de vitesse qui
condensent sur une surface où ils ont une certaine probabilité de se déplacer encore.
Il s’agit donc de simuler le résultat du mouvement des ~10 23 atomes par l’étude
exacte du mouvement d’un nombre restreint. La simulation est faite sur un ordinateur.
Fig. 15.6 Dépôt de In 2 O 3 . Sublimation par canon à électron courant fort /basse tension.