212
Analyse et technologie des surfaces
• Basés sur les polyuréthannes:
Photolaques
Les photolaques sont des laques avec des liants qui sont modifiés par l’action de
la lumière, par exemple par une réaction de photolyse. Elles sont utilisées pour la
réalisation de microstructures (fig. 14.1 et 14.2). Les photolaques sont donc la base de
l’industrie microtechnique. On distingue les photolaques d’un ton négatif ou positif.
Pour les photolaques à ton positif , la lumière détruit l’action du liant, par
exemple en le dissociant – elle diminue son poids moléculaire. La laque devient
soluble dans les sections exposées à la lumière et peut être enlevée par un rinçage.
Fig. 14.1 Microstructure en laque. Etape intermédiaire pour un dépôt sélectif (technique lift off) ou
un gravage sélectif (technique etch off).
Fig. 14.2 Détail du précédent montrant la résolution possible.