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Analyse et technologie des surfaces
l’espèce une montée rapide et une décroissance successives avec la racine de l’énergie (les électrons trop énergétiques ignorent de plus en plus les atomes sur leur passage). On trouve les énergies d’ionisation pour toutes les espèces ainsi que les sections d’ionisation pour la plupart d’entre elles dans des banques de données. Pour
maintenir un plasma, on a donc besoin d’un champ électrique qui accélère suffisamment d’électrons au-delà de l’énergie d’ionisation d’au moins une composante du
gaz. Ce champ peut être uniforme, local, constant dans le temps ou alternatif. Un
champ alternatif par exemple de haute fréquence ou de micro-onde peut être produit
à l’extérieur du réacteur. Ces champs sont utilisés pour produire un plasma
homogène.
Pour les plasmas hétérogènes, le champ électrique est appliqué entre deux
électrodes internes. Il peut s’agir d’un potentiel constant appliqué aux électrodes ou
d’un potentiel alternatif couplé capacitivement. On observe d’une manière générale
les zones suivantes.
L’espace avoisinant la cathode est une succession de lisières de luminosité.
Elles dominent ou correspondent à certaines réactions responsables du maintien de
la décharge. Nous n’avons mis que les deux principales dans la figure 12.10.
L’enveloppe de la cathode consiste en une lisière sombre et une lisière lumineuse. L’épaisseur de la lisière sombre varie fortement avec la pression. En effet,
V
cathode
anode
V c
V T
V A
lisière sombre cathodique
lisière lumineuse cathodique
lisière lumineuse anodique
colonne
positive
Fig. 12.10 Zones de plasma entre la cathode et l’anode d’une décharge luminescente.
Analyse et technologie des surfaces
l’espèce une montée rapide et une décroissance successives avec la racine de l’énergie (les électrons trop énergétiques ignorent de plus en plus les atomes sur leur passage). On trouve les énergies d’ionisation pour toutes les espèces ainsi que les sections d’ionisation pour la plupart d’entre elles dans des banques de données. Pour
maintenir un plasma, on a donc besoin d’un champ électrique qui accélère suffisamment d’électrons au-delà de l’énergie d’ionisation d’au moins une composante du
gaz. Ce champ peut être uniforme, local, constant dans le temps ou alternatif. Un
champ alternatif par exemple de haute fréquence ou de micro-onde peut être produit
à l’extérieur du réacteur. Ces champs sont utilisés pour produire un plasma
homogène.
Pour les plasmas hétérogènes, le champ électrique est appliqué entre deux
électrodes internes. Il peut s’agir d’un potentiel constant appliqué aux électrodes ou
d’un potentiel alternatif couplé capacitivement. On observe d’une manière générale
les zones suivantes.
L’espace avoisinant la cathode est une succession de lisières de luminosité.
Elles dominent ou correspondent à certaines réactions responsables du maintien de
la décharge. Nous n’avons mis que les deux principales dans la figure 12.10.
L’enveloppe de la cathode consiste en une lisière sombre et une lisière lumineuse. L’épaisseur de la lisière sombre varie fortement avec la pression. En effet,
V
cathode
anode
V c
V T
V A
lisière sombre cathodique
lisière lumineuse cathodique
lisière lumineuse anodique
colonne
positive
Fig. 12.10 Zones de plasma entre la cathode et l’anode d’une décharge luminescente.