Traitements par diffusion
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Tableau 12.2 Spécifications pour les épaisseurs de zinc pour différents objets et applications.
12.7 IONISATION SOUS VIDE, PLASMA
Le plasma est une phase de la matière qui est utilisée dans de nombreuses
applications de synthèse de matériaux. Nous ne présenterons que quelques éléments
essentiels.
Un plasma est une phase qui contient des atomes, molécules, ions(atomiques et
moléculaires) et électrons. Les plasmas stationnaires sont neutres:
(12.16)
avec Z i :
charge de l’espèce ionique i .
ρ ι ( x , y , z , t ): densité de l’espèce ionique i .
ρ e ( x , y, z, t): densité électronique.
La neutralité peut être violée localement et momentanément par des fluctuations ou par des ondes stationnaires ou en propagation. Mais ces effets sont rarement observés dans les plasmas utilisés en traitement de surface. L’équation (12.16)
peut donc être utilisée avec des volumes d’intégration microscopiques. Ceci est dû à
la grande mobilité des porteurs de charge. Les seules régions où l’on observe une
déviation macroscopique de la neutralité des charges sont les électrodes, qui sont
les régions d’absorption et d’émission de charges. Elles seront discutées plus en
détails ci-dessous.
La neutralité locale est un outil très puissant, puisqu’elle permet de guider des
faisceaux d’ions en guidant les électrons.
Le plasma est créé et maintenu par des réactions d’ionisation accompagnant la
réfraction des électrons sur les atomes, molécules et ions. La probabilité d’ionisation en fonction de l’énergie est caractérisée par un seuil – l’énergie d’ionisation de
Articles
Epaisseurs [µm]
Utilisations
Epaisseur de paroi
[mm] des articles
finis
<1
<3
<5
>5
49
56
63
70
pylônes électriques, châssis de véhicules, glissières,
berlines, remorques bateaux, remonte-pentes, etc.
Ecrous et boulons
52
visserie courante
Tôles
7-42
toiture de bâtiment, électroménager, carrosserie automobile, étalages, dalles, etc.
Tubes
canalisations d’eau, air comprimée, serrurerie, etc.
Fils
4-40
clôtures, grillages, ressorts, clous, etc.
Z i
ρ i
τ
∫
x y z
, ,
(
) x
d y
d z
d t
d
volume
∫
∫
°
∫
°
i
∑
ρ e x y z
, ,
(
) x
d y
d z
d t
d
τ
∫
volume
∫
∫
°
∫
°
=
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