180
Analyse et technologie des surfaces
plaquette entière est ensuite chauffée à une température de 800 ˚C pendant quelques
minutes. Le silicium diffuse dans le métal déposé. Un siliciure stoechiométrique
commence à germer sur le monocristal de silicium et la réaction ne s’arrête que
lorsque tout le métal est consommé. Les problèmes secondaires à gérer sont la
répartition des dopants – incorporation dans le siliciure, refoulement vers le silicium, appauvrissement du silicium – et la consommation excessive de silicium qui
ne paraît pas compatible avec la technologie 0,18 µ m.
La figure 12.6 montre la distribution du cobalt dans le silicium après l’implantation et la redistribution obtenue avec différents recuits.
12.6.2 Galvanisation à chaud
Une application dans un domaine tout à fait différent est la galvanisation à
chaud des aciers.
Procédé
La galvanisation à chaud est un procédé mixte qui combine un procédé de diffusion de métaux avec une solidification superficielle. Au contact de l’acier avec le
10
20
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100
pourcentage atomique de zinc
Fe
Zn
3,9 (4,5)
68,7
(72)
(79)
76,3
α
17,6 24,5
(27,5)
(20)
623°
68,7
(72)
77,4
(80,0)
672°
640°
620°
530°
419,4°
419,5°
δ
Γ
ζ
δ 1
910°
γ
42,2
(46)
782° 70,9 (74,0)
769°
magn.
transf.
température [°C]
Fig. 12.7 Diagramme de phase fer-zinc. Zn, hexagonale avec une solubilité faible pour le fer
< 0,0028% poids: ζ –FeZn 13, monoclinique avec 28 atomes dans la cellule élémentaire ; δ 1 –Fe Zn 7 –
Fe Zn 10 ; Γ –FeZn 3 cubique; Fe 5 Zn 21 cubique.
pourcentage en
poids de zinc
Analyse et technologie des surfaces
plaquette entière est ensuite chauffée à une température de 800 ˚C pendant quelques
minutes. Le silicium diffuse dans le métal déposé. Un siliciure stoechiométrique
commence à germer sur le monocristal de silicium et la réaction ne s’arrête que
lorsque tout le métal est consommé. Les problèmes secondaires à gérer sont la
répartition des dopants – incorporation dans le siliciure, refoulement vers le silicium, appauvrissement du silicium – et la consommation excessive de silicium qui
ne paraît pas compatible avec la technologie 0,18 µ m.
La figure 12.6 montre la distribution du cobalt dans le silicium après l’implantation et la redistribution obtenue avec différents recuits.
12.6.2 Galvanisation à chaud
Une application dans un domaine tout à fait différent est la galvanisation à
chaud des aciers.
Procédé
La galvanisation à chaud est un procédé mixte qui combine un procédé de diffusion de métaux avec une solidification superficielle. Au contact de l’acier avec le
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pourcentage atomique de zinc
Fe
Zn
3,9 (4,5)
68,7
(72)
(79)
76,3
α
17,6 24,5
(27,5)
(20)
623°
68,7
(72)
77,4
(80,0)
672°
640°
620°
530°
419,4°
419,5°
δ
Γ
ζ
δ 1
910°
γ
42,2
(46)
782° 70,9 (74,0)
769°
magn.
transf.
température [°C]
Fig. 12.7 Diagramme de phase fer-zinc. Zn, hexagonale avec une solubilité faible pour le fer
< 0,0028% poids: ζ –FeZn 13, monoclinique avec 28 atomes dans la cellule élémentaire ; δ 1 –Fe Zn 7 –
Fe Zn 10 ; Γ –FeZn 3 cubique; Fe 5 Zn 21 cubique.
pourcentage en
poids de zinc