Profils en profondeur
113
Le dernier exemple montre la comparaison des profils obtenus par GDOES,
AES et XPS. Dans la littérature, on trouve peu de mesures effectuées sur le même
échantillon par différentes méthodes. Dans le cas présent, il s’agit d’un acier
chromé électrochimiquement (fig. 6.15).
En (a), on observe la concentration déterminée par GDOES sur une profondeur
de 30 nm. Qualitativement, les profils AES (b) et XPS (c) sont similaires et montrent
Fig. 6.14 Spectre ESCA détaillé du Tantale 4f mesuré au maximum du pic du Tantale de la figure
6.16. Trois doublets de Ta 4f (5/2 et 7/2) ont été utilisés pour la déconvolution: Ta2O5 (1,2), TaO
(3,4) et Ta (5,6).
35
30
25
20
15
E I [eV]
N(E)/E
1
2
3
4 5 6
Fig. 6.15 Comparaison des profils (a) GDOES, (b) AES et (c) XPS d’un acier chromé (d’après
[6.14]).
100
50
0
0
0,01
0,02
0,03
C(x5)
O
Cr
Fe
z [µm]
c
[% poids]
0
2
4
6
0
2
4
6
8
10
Fe
Cr
O
C
t [min]
I
10
8
6
4
2
0
0
1 0
2 0
3 0
t [min]
Fe
Cr
O
I
(a)
(b)
(c)