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Analyse et technologie des surfaces
représentatif pour le PET. La largeur de l’interface ∆t a été déterminée par la diminution du signal de l’oxygène entre 84% et 16% en prenant l’état stationnaire
entre 0-25 min comme étant à 100% (comparer avec la discussion de la fig. 6.2).
Les profils ESCA sur les isolants permettent également de contrôler la stoechiométrie de la couche de SiO x car le profil ESCA ne donne pas seulement
l’intensité des pics mesurés mais mesure aussi les spectres des photoélectrons en
fonction du temps de décapage. Ainsi, il est possible de déterminer la variation de
la stoechiométrie en fonction de l’épaisseur de la couche. Dans le cas présent, le
décapage par l’Argon ne changeait pas l’état d’oxydation de l’oxyde mais pulvérisait le substrat PET en détruisant les liaisons entre carbone et oxygène (C–O et
C = O).
Un autre exemple montre un système multicouches d’un détecteur pyroélectrique. Les profils ESCA permettent d’accéder aux couches internes avec une bonne
résolution en profondeur.
Fig. 6.10 Profils AES de 16 couches de Ni /Cr d’une épaisseur de 30 nm sur Si décapées avec des ion
Ar + à 3 keV Ar + (θ = 45˚): (a) avec rotation; (b) sans rotation de l’échantillon (d’après Mathieu
[6.9]). L’intensité a été normalisée par l’application de (6.8).
0,2
0,4
0,6
0,8
1,0
0
0
50
100
150
200
t [min]
I
[normalisée]
(a)
Ni
Cr
Si
0,2
0,4
0,6
0,8
1,0
0
0
50
100
150
200
t [min]
I
[normalisée]
(b)
Ni
Cr
Si