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Analyse et technologie des surfaces
permet d’accepter seulement une certaine région du cratère comme illustrée sur la
figure 6.7. Le faisceau primaire d’un rayon r balaye sur la largeur du cratère selon x
et y pendant que le système de détection n’accepte comme signal que des ions émis
par la zone uniforme du centre du cratère.
La plupart des canons ioniques n’utilisent plus un faisceau statique mais plutôt
un faisceau focalisé et balayé à travers la surface avec un trame variable. Ainsi on
évite un décapage non uniforme qui mène à la dégradation de la résolution en profondeur.
En résumé, l’effet de bord peut être réduit par le choix de l’angle d’incidence,
celui de la taille du cratère et de la zone acceptée par le détecteur. La résolution en
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temps ou profondeur
intensité
faisceau primaire
surface
interface
région mesurée
zone uniforme
tout le cratère
zone uniforme
Fig. 6.6 Schéma d’un profil en profondeur qui montre l’intensité I en fonction du temps ou de la profondeur z. L’insert montre la région uniforme qui évite les effets de bord. Les profils sont mesurés de
préférence dans la zone uniforme.
Fig. 6.7 La zone analysée et uniforme à l’intérieur du cratère créée par le faisceau ionique se trouve
à une distance ≥ r du bord du cratère où r est le rayon du faisceau ionique.
surface
cratère ionique
zone uniforme
r