CHAPITRE 6
PROFILS EN PROFONDEUR
6.1 OBJECTIFS
Le but d’un profil en profondeur est de déterminer la composition d’un matériau en fonction de la profondeur à partir de la surface ainsi que l’épaisseur des couches. Ce chapitre introduit les mesures de profils en profondeur par les méthodes de
• spectroscopie des électrons Auger et des photoélectrons (AES et XPS/
ESCA),
• spectrométrie des ions et particules neutres secondaires (SIMS et SNMS),
• spectrométrie à décharge luminescente (SDL-GDOES).
6.2 INTRODUCTION
Pour l’étude des couches minces dont l’épaisseur dépasse plusieurs monocouches atomiques, on pulvérise la surface par un faisceau ionique pour décaper successivement couche par couche. Pour des spectroscopies d’électrons (AES, ESCA),
on combine l’analyse avec un décapage ionique. En SIMS, on travaille en mode
dynamique en augmentant la dose ionique. Le principe est illustré sur la figure 6.1.
(a)
(b)
interfaces
faisceau
ionique
cratère
ionique
zone
analysée
Fig. 6.1 Principe d’un profil en profondeur avec en (a) l’échantillon avant et en (b) après le décapage
avec un faisceau ionique balayé en x-y sur la surface S. La zone d’analyse est indiquée en grisé.