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Analyse et technologie des surfaces
Il reste à signaler qu’une telle analyse est beaucoup plus rapide que des profils
obtenus par AES, ESCA ou SIMS. L’inconvénient de la technique GDOES est
l’absence complète d’une résolution latérale et la contamination potentielle pendant
le bombardement par le plasma.
5.8 EXEMPLES PRATIQUES
Le SIMS statique peut être appliqué pour la mesure de la première monocouche avec une très haute sensibilité. La figure 5.13 montre un spectre ToF-SIMS des
ions positifs des fragments d’un polymère – polyéthylène téréphtalate (PET) entre 0
et 200 Dalton. Les fragments
et de
à 14 et 27 respectivement, comme
des pics caractéristiques pour le PET à 76, 104, 149 et 191 D sont indiqués. Ce
genre de spectre à basse résolution de masse permet d’identifier facilement le PET
ou d’autres polymères, même un revêtement d’une monocouche.
La figure 5.14 donne l’exemple d’un spectre à haute résolution de masse permettant de distinguer entre les ions
et le C 4 H 2 NO 2 , représentatif de la fonction
maléimide grâce à une résolution de masse de m/∆m ≈ 6900 à m = 96 D. Les deux
pics sont séparés par 0,057 amu.
Le ToF-SIMS en mode statique se prête bien à la détection de molécules en
surface. La figure 5.15 illustre ce point par l’exemple d’une immobilisation de
molécules organiques sur une surface de diamant.
L’analyse SIMS permet de visualiser la molécule par une image d’un de ses
fragments caractéristiques. Dans l’exemple illustré par la figure 5.16, une image
composée de 128 × 128 pixels a été obtenue. Elle montre la distribution latérale du
fragment de 19 F – sur la surface de diamant sur laquelle on a déposé du MAD et qui
CH 2
+
C 2 H 3
+
SO 4
–
I
[cps]
m/z /z / [Da]
100
50
0
150
200
0
Fig. 5.13 Spectre ToF-SIMS en mode positif CH x d’un échantillon de polyéthylène téréphtalate
(PET).
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