306
Compact Models for Integrated Circuit Design
TABLE 8.4
Process Variability-Sensitive BSIM4 Model Parameters
Compact Model
Parameter
Typical
Value
(M
0 )
Local Component
of Model Parameter
Global Component
of Model Parameter
Compact Model
Parameter for MC
Statistical Analysis
σ σM
mismacth_z
PDF for MC
Analysis
σ σM
global z
_
PDF for MC
Analysis
TOXE
TOXM
toxe0
toxm0
σ
toxm z
t ox
A
WL
_ =
( )(
)
1 2
σ
toxm z
t ox
A
WL
_ =
( )(
)
1 2
σ
toxm z agauss
_
( , , )
0 1 1
σ
toxm z agauss
_
( , , )
0 1 1
σ
tox z
_
σ
tox z
_
σ
tox z agauss
_
( , , )
0 1 3
σ
tox z agauss
_
( , , )
0 1 3
toxe
agauss
agauss
toxm z
tox z
0
0 1 1
0 1 3
+
+
σ
σ
_
_
( , , )
( , , )
toxm
agauss
agauss
toxm z
tox z
0
0 1 1
0 1 3
+
+
σ
σ
_
_
( , )
( , , )
XL
xl0
σ
xlm z
xl
A
WL
_ =
(
)(
)
1 2
σ
xlm z agauss
_
( , , )
0 1 1
σ
xl z
_
σ
xl z agauss
_
( , , )
0 1 3
xl
agauss
agauss
xlm z
xl z
0
0 1 1
0 1 3
+
+
σ
σ
_
_
( , , )
( , , )
XW
xw0
σ
xwm z
xw
A
WL
_ =
( )(
)
1 2
σ
xwm z agauss
_
( , , )
0 1 1
σ
xw z
_
σ
xw z agauss
_
( , , )
0 1 3
xw
agauss
agauss
xwm z
xw z
0
0 1 1
0 1 3
+
+
σ
σ
_
_
( , , )
( , , )
VTH0
vth0
σ
vthm z
v t
A
WL
_ =
( )(
)
1 2
σ
vthm z agauss
_
( , , )
0 1 1
σ
vth z
_
σ
vth z agauss
_
( , , )
0 1 3
vth
a gauss
agauss
vthm z
vth z
0
0 1 1
0 1 3
+
+
σ
σ
_
_
( , , )
( , , )
U0
u00
σ
u m z
u
A
WL
0
0
1 2
_ =
( )(
) σ
u m z agauss
0
0 1 1
_
( , , )
σ
u z
0_
σ
u z agauss
0
0 1 3
_
( , , )
u
a gauss
agauss
u m z
u z
00
0 1 1
0 1 3
0
0
+
+
σ
σ
_
_
( , , )
( , , )
K1
k10
σ
k m z
k
A
WL
1
1
1 2
_ =
( )(
) σ
k m z agauss
1
0 1 1
_
( , , )
σ
k z
1_
σ
k z agauss
1
0 1 3
_
( , , )
k
a gauss
agauss
k m z
k z
10
0 1 1
0 1 3
1
1
+
+
σ
σ
_
_
( , , )
( , , )
(Continued )