Chapitre II
Matériel et méthodes
68
B-6-2 Microscope électronique à Balayage (MEB)
Le microscope électronique à balayage couplé avec un système de
microanalyse par dispersion d’énergie (M.E.B/EDS) est un outil d’investigation
fréquemment utilisé lors d’étude ou d’expertise des matériaux. Il permet de fournir
rapidement des informations sur la morphologie et la composition chimique d’un
objet solide.
L’appareil utilisé est un microscope électronique à balayage (Philips XL30
FEG) muni d’une sonde aux RX de type SiLi Oxford ISIS Energy du Laboratoire des
Matériaux à Porosité Controlée (Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Mulhouse,
France).
Le principe du microscope électronique à balayage est de balayer la surface
d’un échantillon à l'aide un faisceau d’électrons produit par une sonde électronique.
Au contact avec le faisceau incident, l’échantillon réémet un certain nombre de
signaux d’énergie différente permettant de reconstituer l’image de l’objet. Les
tensions de travail sont généralement comprises entre 10 et 30 kV, ce qui permet
d’avoir un grossissement pouvant aller jusqu’à 30.000 fois.
Dans le cas du microscope électronique à balayage seul, les signaux récupérés
sont composés d’électrons dits “secondaires” de faible énergie (inférieure à 50
électrons-volts) provenant de couches peu profondes de l’échantillon (environ une
dizaine de nanomètres) et fournissant des renseignements sur la topographie, ainsi que
d’électrons dits “rétrodiffusés” d’énergie cinétique élevée (supérieure à 50 électronsvolts) issus d’une profondeur d’émission de l’ordre de 10 à 100 nanomètres
fournissant des renseignements sur la composition chimique de l’échantillon et des
images en contraste de numéro atomique.
Parmi les autres signaux réémis de couches plus ou moins profondes de
l’échantillon, on peut citer les électrons Auger donnant des renseignements sur les
premières couches atomiques de la surface, les photons X qui donnent la composition
élémentaire de l’échantillon au point d’impact avec le faisceau et qui proviennent
Matériel et méthodes
68
B-6-2 Microscope électronique à Balayage (MEB)
Le microscope électronique à balayage couplé avec un système de
microanalyse par dispersion d’énergie (M.E.B/EDS) est un outil d’investigation
fréquemment utilisé lors d’étude ou d’expertise des matériaux. Il permet de fournir
rapidement des informations sur la morphologie et la composition chimique d’un
objet solide.
L’appareil utilisé est un microscope électronique à balayage (Philips XL30
FEG) muni d’une sonde aux RX de type SiLi Oxford ISIS Energy du Laboratoire des
Matériaux à Porosité Controlée (Ecole Nationale Supérieure de Chimie de Mulhouse,
France).
Le principe du microscope électronique à balayage est de balayer la surface
d’un échantillon à l'aide un faisceau d’électrons produit par une sonde électronique.
Au contact avec le faisceau incident, l’échantillon réémet un certain nombre de
signaux d’énergie différente permettant de reconstituer l’image de l’objet. Les
tensions de travail sont généralement comprises entre 10 et 30 kV, ce qui permet
d’avoir un grossissement pouvant aller jusqu’à 30.000 fois.
Dans le cas du microscope électronique à balayage seul, les signaux récupérés
sont composés d’électrons dits “secondaires” de faible énergie (inférieure à 50
électrons-volts) provenant de couches peu profondes de l’échantillon (environ une
dizaine de nanomètres) et fournissant des renseignements sur la topographie, ainsi que
d’électrons dits “rétrodiffusés” d’énergie cinétique élevée (supérieure à 50 électronsvolts) issus d’une profondeur d’émission de l’ordre de 10 à 100 nanomètres
fournissant des renseignements sur la composition chimique de l’échantillon et des
images en contraste de numéro atomique.
Parmi les autres signaux réémis de couches plus ou moins profondes de
l’échantillon, on peut citer les électrons Auger donnant des renseignements sur les
premières couches atomiques de la surface, les photons X qui donnent la composition
élémentaire de l’échantillon au point d’impact avec le faisceau et qui proviennent