CHAPITRE 5 - MÉTHODES D’ANALYSE DE L’INGÉNIEUR DES SURFACES
239
En SNMS, la cible est bombardée par u n plasma d’ions positifs, et les neutres
pulvérisés sont alors ionisés par impact électronique dans une chambre où
règne un plasma obtenu en ionisant u n gaz rare très pur (argon) par résonance
cyclotron électronique (ECR). Le spectromètre de masse travaille dans le
domaine 1 à 500 amu avec une excellente résolution en masse.
! i
Source d’ions
I
I
I
I
I
I
I
I
I
l
I
I
I
I
I
I
I
I
I
I
Optique d’e-+*”Aimant de separation des masses
Vanne de séparation
\
....
y ]Filtre de masse quadrupolaire
’ U
Porte-échantiiion
Fig. 5.67. Principe d’une sonde ionique (d’après document Atomika).
6.4.4. L’analyse en mode SIMS
En SIMS, les processus d’émission et d‘ionisation sont fortement couplés. La
probabilité d’ionisation a,? pour l’espèce i dépend de la composition chimique de
l’aire pulvérisée et de l’élément lui-même. Donc a: peut varier de plusieurs
ordres de grandeurs d u n e matrice à l’autre et d’un élément à l’autre. Du fait de
239
En SNMS, la cible est bombardée par u n plasma d’ions positifs, et les neutres
pulvérisés sont alors ionisés par impact électronique dans une chambre où
règne un plasma obtenu en ionisant u n gaz rare très pur (argon) par résonance
cyclotron électronique (ECR). Le spectromètre de masse travaille dans le
domaine 1 à 500 amu avec une excellente résolution en masse.
! i
Source d’ions
I
I
I
I
I
I
I
I
I
l
I
I
I
I
I
I
I
I
I
I
Optique d’e-+*”Aimant de separation des masses
Vanne de séparation
\
....
y ]Filtre de masse quadrupolaire
’ U
Porte-échantiiion
Fig. 5.67. Principe d’une sonde ionique (d’après document Atomika).
6.4.4. L’analyse en mode SIMS
En SIMS, les processus d’émission et d‘ionisation sont fortement couplés. La
probabilité d’ionisation a,? pour l’espèce i dépend de la composition chimique de
l’aire pulvérisée et de l’élément lui-même. Donc a: peut varier de plusieurs
ordres de grandeurs d u n e matrice à l’autre et d’un élément à l’autre. Du fait de