CHAPITRE 5 - MÉTHODES D’ANALYSE DE L’INGÉNIEUR DES SURFACES
215
- 0,6
cos A
- 0,7
- 0,8
- 0,9
eW = 0,746 nm
eSi = 1,332 nm
d = 1,078 nm
1 O0 couches W - Si
-
-
1 Substrat
W
Fig. 5.54. Exemple d’application de I’ellipsométrie a l’étude d’un système multicouche W/Si (miroir
a rayons X mous) ; trajectoire expérimentale dans le plan tgd-cosy (d’après
Pour une description plus complète de la méthode et, notamment, une étude
détaillée des calculs en ellipsométrie, on peut se référer à l’ouvrage d’Azzam et
Bashara(21’.
5.
Caractérisation physico-chimique
5.1. Les bases de la mesure des angles de contact
Dans ce paragraphe, nous allons décrire essentiellement des mesures d’angles
de contact. Comme nous l’avons expliqué dans le chapitre premier, l’angle de
contact est une mesure macroscopique de l’énergie interfaciale entre deux
phases. C’est aussi la mesure des diverses composantes (polaires et dispersives)
de l’énergie de surface. Rappelons que les interactions dispersives sont les forces
de London pour lesquelles il n’est pas nécessaire d‘avoir de dipôle permanent -
CJ tableau 4.W. Les forces polaires représentent toutes les autres forces non dispersives (Keesom, Debye, liaisons hydrogène, couples acido-basiques au sens de
Lewis.. .). Plusieurs mesures d’angles de contact avec des liquides judicieusement choisis sont donc nécessaires pour trouver ces deux composantes : une
avec un liquide sonde strictement apolaire, deux ou trois avec des liquides
polaires connus. I1 va de soi qu’une telle méthode reste très empirique et qu’en
(21) Azzam R.M.A. et Bashara N.M., Ellipsometry and polarized light (North Holland,
Amsterdam, 1977).
215
- 0,6
cos A
- 0,7
- 0,8
- 0,9
eW = 0,746 nm
eSi = 1,332 nm
d = 1,078 nm
1 O0 couches W - Si
-
-
1 Substrat
W
Fig. 5.54. Exemple d’application de I’ellipsométrie a l’étude d’un système multicouche W/Si (miroir
a rayons X mous) ; trajectoire expérimentale dans le plan tgd-cosy (d’après
Pour une description plus complète de la méthode et, notamment, une étude
détaillée des calculs en ellipsométrie, on peut se référer à l’ouvrage d’Azzam et
Bashara(21’.
5.
Caractérisation physico-chimique
5.1. Les bases de la mesure des angles de contact
Dans ce paragraphe, nous allons décrire essentiellement des mesures d’angles
de contact. Comme nous l’avons expliqué dans le chapitre premier, l’angle de
contact est une mesure macroscopique de l’énergie interfaciale entre deux
phases. C’est aussi la mesure des diverses composantes (polaires et dispersives)
de l’énergie de surface. Rappelons que les interactions dispersives sont les forces
de London pour lesquelles il n’est pas nécessaire d‘avoir de dipôle permanent -
CJ tableau 4.W. Les forces polaires représentent toutes les autres forces non dispersives (Keesom, Debye, liaisons hydrogène, couples acido-basiques au sens de
Lewis.. .). Plusieurs mesures d’angles de contact avec des liquides judicieusement choisis sont donc nécessaires pour trouver ces deux composantes : une
avec un liquide sonde strictement apolaire, deux ou trois avec des liquides
polaires connus. I1 va de soi qu’une telle méthode reste très empirique et qu’en
(21) Azzam R.M.A. et Bashara N.M., Ellipsometry and polarized light (North Holland,
Amsterdam, 1977).