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A. CORNET et J.-P. DEVILLE
Tableau 5.11. Méthodes d'analyse des surfaces (classées en fonction des renseignements recherches).
Renseignement
Analytique
Morphologique
Structural
longue distance
courte distance
Structure
électronique
0,1 nrn
L
2 IOnrn
2
a IOOnrn
U
O
r
AES
AP
XRF
NAA
RBS
SERS
IAMMA
SDL
SlMS
XPS - ESCA
MEB
AFM
STM
XRD
LEED
RHEED
FIM
STM
EXAFS
UPS
EELS
Vicie requis
Ultravide
Ultravide t gaz
Vide conventionnel
Non
Vide conventionnel
Atmosphère t liquide
Vide conventionnel
Non
Ultravide t gaz
Ultravide
Vide conventionnel
Non
UltravidelAtmosphère
Non
Ultravide
Ultravide
Ultravide t Gaz rare
Ultravide
Ultravide
Ultravide
Ultravide
Réflectornetrie X
spéculaire
1 nrn 10nrn 100nm
1 prn
10vm 100pm 1 mrn 10mrn 100rnm
Largeur analysée
Fig. 5.3. Complémentarité des diverses techniques d'analyse des surfaces.