TABLE DES MATIÈRES
Ix
3.3. Application à l’étude de l’usure en petits débattements ....................
135
3.4. Usure et frottement des outillages ...................................................
137
4
Bases physiques de l’analyse des surfaces
1. Interaction rayonnement - matière .................................................... 14 1
1 . 1 . Relation énergie - longueur d’onde
.....................
141
1.2. Interaction rayons X - matière ......
142
1.3. Interaction électron - matière .......................................
155
2. Les forces atomiques et moléculaires ................................................
157
2.1. Les forces coulombiennes ...............................................................
159
2.2. Les forces dipolaires .......................................................................
159
2.3. Interactions auec les molécules polarisables ....................................
160
2.4. Les forces de dispersion .................................................................
160
2.5. La mesure des forces atomiques et moléculaires ..............................
161
3. L’effet tunnel.. .........................
5
Méthodes d’analyse de l’ingénieur
des surfaces
1. Essai de classement des méthodes d‘analyse ....................................
163
2. Caractérisation morphologique ........................................
168
2.1. Rugosité
...............................................................
168
2.2. Microscopie électronique à balayage (MEB) ......................................
179
3. caractérisation mécanique .................................................................
188
2.3. Microscopies en champ proche
................................................
183
3.1. Mesures par nanoindentation ........
3.2. Mesure des contraintes superficielles
4. Caractérisation structurale ................................................................ 202
4.1. Dgraction rasante et réjectométrie X ...........
4.2. Les spectroscopies d’absorption (EXAFS - S E W S )
4.3. Ellipsométrie .................................................
Ix
3.3. Application à l’étude de l’usure en petits débattements ....................
135
3.4. Usure et frottement des outillages ...................................................
137
4
Bases physiques de l’analyse des surfaces
1. Interaction rayonnement - matière .................................................... 14 1
1 . 1 . Relation énergie - longueur d’onde
.....................
141
1.2. Interaction rayons X - matière ......
142
1.3. Interaction électron - matière .......................................
155
2. Les forces atomiques et moléculaires ................................................
157
2.1. Les forces coulombiennes ...............................................................
159
2.2. Les forces dipolaires .......................................................................
159
2.3. Interactions auec les molécules polarisables ....................................
160
2.4. Les forces de dispersion .................................................................
160
2.5. La mesure des forces atomiques et moléculaires ..............................
161
3. L’effet tunnel.. .........................
5
Méthodes d’analyse de l’ingénieur
des surfaces
1. Essai de classement des méthodes d‘analyse ....................................
163
2. Caractérisation morphologique ........................................
168
2.1. Rugosité
...............................................................
168
2.2. Microscopie électronique à balayage (MEB) ......................................
179
3. caractérisation mécanique .................................................................
188
2.3. Microscopies en champ proche
................................................
183
3.1. Mesures par nanoindentation ........
3.2. Mesure des contraintes superficielles
4. Caractérisation structurale ................................................................ 202
4.1. Dgraction rasante et réjectométrie X ...........
4.2. Les spectroscopies d’absorption (EXAFS - S E W S )
4.3. Ellipsométrie .................................................