1.7.3 Stimulated Emission Depletion (STED)
Manufacturing . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 60
1.8 Summary and Outlooks . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 62
References . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 63
2 Ultrafast Laser Enabling Versatile Fabrication of Surface
Micro-nano Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
Minlin Zhong and Peixun Fan
2.1 Introduction . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 75
2.2 Overview of Research . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
2.2.1 Micro-nano Structures on Semiconductor Surfaces
for Antireflection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 78
2.2.2 Micro-nano Structures on Metal Surfaces
for Antireflection . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 79
2.2.3 Challenges . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 80
2.3 Fabrication of Metals Surface Micro-nano Structures . . . . . . . . 82
2.3.1 Fabrication of Metal Surface Nanoripples
and Nanoparticles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 82
2.3.2 Fabrication of Metal Surface Micro-nano Dual-scale
Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 85
2.3.3 Construction of Metal Surface Macro-micronanoNanowire Multiscale Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . 87
2.4 Antireflection of Metal Surface Nanoscale Structures . . . . . . . . 93
2.4.1 Rainbow-Like Colors of Metal Surface
via Nanoripples . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
2.4.2 Sequential Colorization of Metal Surfaces
via Nanoparticles . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 93
2.4.3 Colorful Self-cleaning Metal Surfaces via Nanoscale
Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 94
2.5 Antireflection of Metal Surface Micro-nano Dual-scale
Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
2.5.1 Tunable Antireflection via Metal Surface Particle
Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 95
2.5.2 Ultrabroadband Antireflection of Micro-nano
Dual-scale Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 97
2.5.3 General Broadband Antireflection of Metal Surfaces
via Micro-nano Dual-scale Structures . . . . . . . . . . . . . 99
2.6 Antireflection of Metal Surface Macro-micronano-nanowire
Multiscale Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
2.6.1 Enhanced IR Antireflection of Metal Surfaces
via Multiscale Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 99
2.6.2 Mechanism of Enhanced IR Antireflection
of Multiscale Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 102
2.6.3 Tunability of IR Antireflection of Multiscale
Structures . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . . 103
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