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Analyse et technologie des surfaces
(fig. 5.8), on place deux plaques de déflexion. Ces plaques de déflexion servent à
délimiter le temps pendant lequel les ions sont envoyés vers le détecteur. Donc les
ions créés hors acquisition, les ions trop énergétiques et les électrons secondaires
(en mode négatif) seront défléchis à cet endroit.
Les ions (positifs ou négatifs) seront accélérés par un potentiel appliqué entre
l’échantillon et une lentille d’entrée. La distance entre la surface de l’échantillon et
la lentille d’entrée est typiquement de quelques mm. Passé cette lentille, l’ion vole
en direction du détecteur sur une distance connue (par ex. 2 m). Un détecteur d’électrons secondaires sert à visualiser la surface bombardée par les ions primaires.
Au lieu de laisser les ions voler sur un chemin tout droit, on utilise trois déflecteurs électrostatiques pour une meilleure résolution de masse. A la place des trois
déflecteurs on peut installer un réflecteur d’ions comme illustré à la figure 5.9. Les
ESA 3
ESA 2
ESA 1
analyseurs
électrostatiques
ESA 1-3
détecteur
canon Ga +
échantillon
compensation de charge
détecteur d’électrons sec.
plaques
de déflexion
canon Cs +
IL
Fig. 5.8 Schéma de l’analyseur TOF-SIMS Trift avec deux sources d’ions (Ga + et Cs + pulsée) avec
IL lentille d’immersion et analyseurs électrostatiques ESA 1-3.
Fig. 5.9 Schéma de l’analyseur ToF-SIMS Reflectron. IL représente la lentille d’immersion à
l’entrée de l’analyseur.
1 m
canon Ga +
optique
électrostatique
compensation
de charge
détecteur
réflecteur d’ions
IL
Analyse et technologie des surfaces
(fig. 5.8), on place deux plaques de déflexion. Ces plaques de déflexion servent à
délimiter le temps pendant lequel les ions sont envoyés vers le détecteur. Donc les
ions créés hors acquisition, les ions trop énergétiques et les électrons secondaires
(en mode négatif) seront défléchis à cet endroit.
Les ions (positifs ou négatifs) seront accélérés par un potentiel appliqué entre
l’échantillon et une lentille d’entrée. La distance entre la surface de l’échantillon et
la lentille d’entrée est typiquement de quelques mm. Passé cette lentille, l’ion vole
en direction du détecteur sur une distance connue (par ex. 2 m). Un détecteur d’électrons secondaires sert à visualiser la surface bombardée par les ions primaires.
Au lieu de laisser les ions voler sur un chemin tout droit, on utilise trois déflecteurs électrostatiques pour une meilleure résolution de masse. A la place des trois
déflecteurs on peut installer un réflecteur d’ions comme illustré à la figure 5.9. Les
ESA 3
ESA 2
ESA 1
analyseurs
électrostatiques
ESA 1-3
détecteur
canon Ga +
échantillon
compensation de charge
détecteur d’électrons sec.
plaques
de déflexion
canon Cs +
IL
Fig. 5.8 Schéma de l’analyseur TOF-SIMS Trift avec deux sources d’ions (Ga + et Cs + pulsée) avec
IL lentille d’immersion et analyseurs électrostatiques ESA 1-3.
Fig. 5.9 Schéma de l’analyseur ToF-SIMS Reflectron. IL représente la lentille d’immersion à
l’entrée de l’analyseur.
1 m
canon Ga +
optique
électrostatique
compensation
de charge
détecteur
réflecteur d’ions
IL