Spectroscopie d’électrons Auger
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Tableau 4.1 Nombres quantiques et désignation des niveaux Auger/XPS.
4.3.1 Energie cinétique des pics Auger
La figure 4.2 donne le schéma de l’effet Auger avec l’exemple du calcul de
l’énergie cinétique du pic KLL de l’oxygène.
Après émission d’un électron secondaire sous bombardement des électrons
primaires d’une énergie supérieure à celle du niveau de cœur K (= E W ), un électron
d’un niveau plus proche du niveau Fermi, par exemple L 2 (= E X ), prend la place
n
l
j
Auger
XPS
1
0
1 / 2
K
1 s
2
0
1 / 2
L 1
2s
2
1
1 / 2
L 2
2p 1/2
2
1
3 / 2
L 3
2p 3/2
3
0
1 / 2
M 1
3s
3
1
1 / 2
M 2
3p 1/2
3
1
3 / 2
M 3
3p 3/2
3
2
3 / 2
M 4
3d 3/2
3
2
5 / 2
M 5
3d 5/2
etc.
etc.
etc.
etc.
E[eV]
E vide
E x, y
e p
E W
E K
E L1
E L2
Φ e
F éch
e s
échantillon
analyseur
Φ A
E cin = E WXY
E cin
'
E WXY = E K – E L2 – E L2 – Φ A
= 532 – 8 – 8 – 4
= 512 eV
Fig. 4.2 Schéma du processus Auger pour l’Oxygène. E F est l’énergie de Fermi (niveau zéro pour le
calcul de l’énergie de liaison des électrons). Φ e et Φ A sont respectivement le travail d’extraction de
l’échantillon (e) et celui de l’analyseur (A).
0
E Fermi