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Analyse et technologie des surfaces
La profondeur analysée est une fonction de l’angle d’émission, selon (3.11a).
Ainsi, la variation de l’angle θ permet de mesurer des photoélectrons à des profondeurs différentes et d’obtenir un profil non destructif sur moins de 10 nm par variation
de l’angle d’éjection, comme illustré à la figure 3.13. L’émission normale favorise le
volume et l’émission rasante concerne plutôt l’extrême surface. Il est également possible de faire varier la profondeur d’analyse entre l’extrême surface, la région sous la
surface et le volume, en jouant sur l’énergie des photons avec des sources RX différentes, notamment avec le rayonnement synchrotron. Un tel rayonnement est une
source de photons à haute densité de courant d’une longueur d’onde variable avec
1000
100
10
1
1
10
100
1000
E cin [eV]
erreur exp.
A
C
λ (monocouches)
Fig. 3.12 Libre parcours moyen λ des électrons secondaires en fonction de l’énergie cinétique
d’après [3.6].
source RX
Fig. 3.13 Influence de la variation de l’angle d’émission θ sur la profondeur d’échappement Λ.
source RX
analyseur
analyseur
échantillon
échantillon
θ = 0°
θ = 70°
Λ
Λ = λcosθ
Λ