Index
493
pompe(s)
– à diffusion, 270
– à étages, 270
– à sublimation, 271
– cryogéniques, 270
– getter, 271
– turbomoléculaire, 270
porosité, 329
positions des pics des photoélectrons utilisées
pour le calibrage, 24
postionisation, 86
potentiel
– chimique, 239
– d’action, 281
– électrochimique, 280
– mixte, 290
pouvoir de pénétration, 320
– recto verso, 322
précipitation, 224
précision, 305
– ∆ θ de l’angle d’émission, 32
préformes, 200
préparation de la surface, 140
pressage isostatique à chaud, 201
pression(s)
– p d’un gaz parfait, 2
– de vapeur, 239
primer , 223
probabilité d’émission, 63
– d’un électron Auger, 51
procédé(s)
– hybride, 343
– mixtes, 431
– vide poussé, 249
processus Auger, 47
profil(s), 59, 113, 137
– AES, 110
– Auger, 97
– de concentration, 70, 147
– en profondeur, 57, 81, 95, 102
– ESCA, 110
– obtenus par GDOES, 113
profilomètre optique, 12
profondeur
– analysée, 34
– d’échappement, 34, 52, 66
– d’échappement L, 52
– d’un film d’oxyde de tantale, 96
– de pénétration, 151, 322
– de trempe, 152
– z , 60
projection
– à chaud, 220
– à l’air, 220
– à la lance, 295
– airless , 220
– au plasma, 229
– électrostatique, 220
– thermique, 227
propriétés mécaniques des couches minces, 335
protection
– cathodique, 182
– contre la corrosion, 306
prototypage rapide, 232
PS, polystyrène, 208
PTFE, 291
pulvérisation, 104, 237
– cathodique, 256
– d’atomes, 69
PVC, polychlorure de vinyle, 208
PVD, 237
– non réactif, 243
– réactif, 238, 259
pyrolyse, 238, 262
quantification, 87
radiofréquence, 265
rapid thermal processing , 146, 147
rayage, 311
rayonnement synchrotron, 36
réactions électrochimiques
– anodiques, 289
– cathodiques, 289
recristallisation, 283
– épitactique, 189
rectification, 341
réducteur, 288, 290
réduction, 262, 285
ré-évaporation, 239
réflexion de Fresnel, 13
régime
– hydrodynamique, 439
– hydrostatique, 440
relation de Bragg, 348
rendement
– de décapage, 104, 105
– de décapage ionique, 98
– de pulvérisation, 186
– en matière, 318
– faradaique, 302
– faradaique véritable, 302
– utile, 75
repulvérisation, 301
résilience d’un revêtement, 335
résines
– acryliques, 207
– polyvinyles, 207
résistance
– à la fatigue, 165
– au déplacement, 360
résolution
– de masse, 79, 81, 83, 84, 90, 93
– en énergie des photoélectrons, 32
493
pompe(s)
– à diffusion, 270
– à étages, 270
– à sublimation, 271
– cryogéniques, 270
– getter, 271
– turbomoléculaire, 270
porosité, 329
positions des pics des photoélectrons utilisées
pour le calibrage, 24
postionisation, 86
potentiel
– chimique, 239
– d’action, 281
– électrochimique, 280
– mixte, 290
pouvoir de pénétration, 320
– recto verso, 322
précipitation, 224
précision, 305
– ∆ θ de l’angle d’émission, 32
préformes, 200
préparation de la surface, 140
pressage isostatique à chaud, 201
pression(s)
– p d’un gaz parfait, 2
– de vapeur, 239
primer , 223
probabilité d’émission, 63
– d’un électron Auger, 51
procédé(s)
– hybride, 343
– mixtes, 431
– vide poussé, 249
processus Auger, 47
profil(s), 59, 113, 137
– AES, 110
– Auger, 97
– de concentration, 70, 147
– en profondeur, 57, 81, 95, 102
– ESCA, 110
– obtenus par GDOES, 113
profilomètre optique, 12
profondeur
– analysée, 34
– d’échappement, 34, 52, 66
– d’échappement L, 52
– d’un film d’oxyde de tantale, 96
– de pénétration, 151, 322
– de trempe, 152
– z , 60
projection
– à chaud, 220
– à l’air, 220
– à la lance, 295
– airless , 220
– au plasma, 229
– électrostatique, 220
– thermique, 227
propriétés mécaniques des couches minces, 335
protection
– cathodique, 182
– contre la corrosion, 306
prototypage rapide, 232
PS, polystyrène, 208
PTFE, 291
pulvérisation, 104, 237
– cathodique, 256
– d’atomes, 69
PVC, polychlorure de vinyle, 208
PVD, 237
– non réactif, 243
– réactif, 238, 259
pyrolyse, 238, 262
quantification, 87
radiofréquence, 265
rapid thermal processing , 146, 147
rayage, 311
rayonnement synchrotron, 36
réactions électrochimiques
– anodiques, 289
– cathodiques, 289
recristallisation, 283
– épitactique, 189
rectification, 341
réducteur, 288, 290
réduction, 262, 285
ré-évaporation, 239
réflexion de Fresnel, 13
régime
– hydrodynamique, 439
– hydrostatique, 440
relation de Bragg, 348
rendement
– de décapage, 104, 105
– de décapage ionique, 98
– de pulvérisation, 186
– en matière, 318
– faradaique, 302
– faradaique véritable, 302
– utile, 75
repulvérisation, 301
résilience d’un revêtement, 335
résines
– acryliques, 207
– polyvinyles, 207
résistance
– à la fatigue, 165
– au déplacement, 360
résolution
– de masse, 79, 81, 83, 84, 90, 93
– en énergie des photoélectrons, 32