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Analyse et technologie des surfaces
(3.2)
et donc l’équation principale de l’XPS reliant l’énergie cinétique mesurée et l’énergie de liaison recherchée
(3.3a)
ou
(3.3b)
On remarque dans cette dernière équation que seule la fonction d’extraction du
spectromètre Φ A intervient. Le tableau A3 de l’annexe donne les positions des raies
de photoélectrons des éléments. Les raies des pics utilisés pour la calibration en
XPS sont décrites au tableau 3.2. Signalons enfin qu’on peut trouver l’ensemble des
énergies de liaison chez Briggs et Seah.
Tableau 3.2 Positions des pics des photoélectrons utilisées pour le calibrage.
Au 4 f 7/2
84,0 eV
C 1s 1/2
285,0 eV
Ag 3d 5/2
368,3 eV
Cu 2p 3/2
932,7 eV
Al K α – Mg K α
233,0 eV
E cin Φ A
+
E cin
'
Φ éch
+
=
E L
hν E cin Φ A
–
–
=
E cin
hν E L Φ A
–
–
=
Fig. 3.3 Bilan énergétique de l’analyse XPS.
E(eV)
E vide
E 4
E 3
E 2
E 1
0
hν
échantillon
E L
analyseur
E cin
'
E cin
Φ A
Φ éch
E Fermi