Revêtements à partir d’une phase gazeuse (PVD/CVD)
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Les méthodes de production de flux d’hydrogène ne jouent aucun rôle.
Deryuagin avait utilisé la décomposition autocatalytique de l’hydrogène sur un filament de tungstène chaud, d’autres ont utilisé un plasma micro-onde ou encore la
méthode ECR. La méthode la plus simple consiste à utiliser une décharge à arc.
En effet, l’arc à courant direct est un outil de dissociation très puissant. S’il est
utilisé dans un gaz contenant essentiellement un gaz diatomique, il va exploiter
celui-ci pour se refroidir. On trouve donc dans la nervure de l’arc:
Energie + N 2 , H 2 , O 2
2N, 2H, 2O
et aux surfaces qui l’entourent
2N, 2H, 2O
N 2 , H 2 , O 2 + Energie
15.8.6 Plasmapolymérisation
La plasmapolymérisation n’est souvent pas une polymérisation. Une polymérisation est la formation d’un solide par interaction des mères. Il existe des cas et
des conditions dans lesquelles cette formation de polymères à partir de mères est
accélérée par un plasma. Ce sont essentiellement des cas où le plasma forme par
décomposition partielle des substances qui catalysent la polymérisation du reste. Ce
mode de travail est plutôt l’exception. La plasmapolymérisation ressemble beaucoup plus à un CVD assisté par plasma avec des réactifs organiques, aucun apport
thermique et une décomposition moins sévère (fig. 15.13).
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Fig. 15.12 Dépôt de diamant polycristallin sur un substrat de carbure cimenté, photo MEB.
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Les méthodes de production de flux d’hydrogène ne jouent aucun rôle.
Deryuagin avait utilisé la décomposition autocatalytique de l’hydrogène sur un filament de tungstène chaud, d’autres ont utilisé un plasma micro-onde ou encore la
méthode ECR. La méthode la plus simple consiste à utiliser une décharge à arc.
En effet, l’arc à courant direct est un outil de dissociation très puissant. S’il est
utilisé dans un gaz contenant essentiellement un gaz diatomique, il va exploiter
celui-ci pour se refroidir. On trouve donc dans la nervure de l’arc:
Energie + N 2 , H 2 , O 2
2N, 2H, 2O
et aux surfaces qui l’entourent
2N, 2H, 2O
N 2 , H 2 , O 2 + Energie
15.8.6 Plasmapolymérisation
La plasmapolymérisation n’est souvent pas une polymérisation. Une polymérisation est la formation d’un solide par interaction des mères. Il existe des cas et
des conditions dans lesquelles cette formation de polymères à partir de mères est
accélérée par un plasma. Ce sont essentiellement des cas où le plasma forme par
décomposition partielle des substances qui catalysent la polymérisation du reste. Ce
mode de travail est plutôt l’exception. La plasmapolymérisation ressemble beaucoup plus à un CVD assisté par plasma avec des réactifs organiques, aucun apport
thermique et une décomposition moins sévère (fig. 15.13).
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Fig. 15.12 Dépôt de diamant polycristallin sur un substrat de carbure cimenté, photo MEB.