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Analyse et technologie des surfaces
d’analyse d’image. Mentionnons que le grossissement utile, X , est déterminé par le
produit de l’ouverture numérique A (= n · sin Φ , où n est l’indice de réfraction réel et
Φ est l’angle d’entrée), de l’objectif et de l’oculaire O.
Un rugosimètre à laser qui évite tout contact mécanique avec la surface en utilisant un laser et le principe de Michelson est montré sur la figure 2.7.
La position de l’échantillon est modifiée par un déplacement horizontal et un
réglage en hauteur. Le laser balaie la surface T dans les directions x - y . Le signal du
laser converti par un convertisseur D/A forme l’image numérique I de la surface.
Une source de lumière utilisée comme microscope visualise optiquement la surface.
Les lames semi-transparentes R et P contrôlent la réflexion du rayon laser et d’une
source lumineuse. L’avantage d’un tel instrument est l’absence de tout contact
mécanique de la surface avec la sonde pendant la mesure. La résolution latérale et
celle en profondeur sont typiquement de l’ordre du micromètre.
Une variante aux méthodes sans contact est le dispositif proposé par Tolansky
qui utilise les interférences des rayons multiples formés entre une lame de réflexion
et la surface S de l’objet. Son avantage réside dans le fait qu’on peut obtenir un
signal plus intense par la superposition de plusieurs rayons après réflexion. L’inconvénient est le contact de la lame avec la surface qui provoque une distorsion des
franges.
Fig. 2.7 Profilomètre optique qui utilise un laser balayant la surface: P et R sont les lames
semi-transparentes; O, l’objectif, D/A, le convertisseur digital/analogique, T(x, y), le traceur et I,
l’image.
lumière
laser
P
D/A
I
O
R
T(x, y)
Analyse et technologie des surfaces
d’analyse d’image. Mentionnons que le grossissement utile, X , est déterminé par le
produit de l’ouverture numérique A (= n · sin Φ , où n est l’indice de réfraction réel et
Φ est l’angle d’entrée), de l’objectif et de l’oculaire O.
Un rugosimètre à laser qui évite tout contact mécanique avec la surface en utilisant un laser et le principe de Michelson est montré sur la figure 2.7.
La position de l’échantillon est modifiée par un déplacement horizontal et un
réglage en hauteur. Le laser balaie la surface T dans les directions x - y . Le signal du
laser converti par un convertisseur D/A forme l’image numérique I de la surface.
Une source de lumière utilisée comme microscope visualise optiquement la surface.
Les lames semi-transparentes R et P contrôlent la réflexion du rayon laser et d’une
source lumineuse. L’avantage d’un tel instrument est l’absence de tout contact
mécanique de la surface avec la sonde pendant la mesure. La résolution latérale et
celle en profondeur sont typiquement de l’ordre du micromètre.
Une variante aux méthodes sans contact est le dispositif proposé par Tolansky
qui utilise les interférences des rayons multiples formés entre une lame de réflexion
et la surface S de l’objet. Son avantage réside dans le fait qu’on peut obtenir un
signal plus intense par la superposition de plusieurs rayons après réflexion. L’inconvénient est le contact de la lame avec la surface qui provoque une distorsion des
franges.
Fig. 2.7 Profilomètre optique qui utilise un laser balayant la surface: P et R sont les lames
semi-transparentes; O, l’objectif, D/A, le convertisseur digital/analogique, T(x, y), le traceur et I,
l’image.
lumière
laser
P
D/A
I
O
R
T(x, y)