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Analyse et technologie des surfaces
les composés définis vont se sublimer ou se décomposer (avec éventuellement perte
sélective d’un constituant). La sublimation des oxydes est souvent accompagnée
d’une perte de stoechiométrie.
Creusets
Le matériau du creuset ne doit pas être plus réfractaire que le matériau à évaporer, il ne doit pas non plus réagir avec la matière à évaporer dans les zones de contact. Pour la plupart des sources de chaleur, le creuset doit avoir une bonne conductivité électrique. Deux solutions particulières à ce problème sont:
• l’utilisation d’un «liner»;
• le travail en autocreuset: le métal à évaporer est mis dans un creuset en cuivre refroidi; au contact avec le cuivre, le métal ne fondra pas, formant ainsi
lui-même son creuset.
Les matériaux courants sont le tungstène, le carbone et le nitrure de bore.
La figure 15.2 montre un choix de formes de creusets.
transformateur
basse tension
filament de tungstène
évaporateur à filament
matière
à évaporer
matière
à évaporer
matière
à évaporer
matière
à évaporer
matière
à évaporer
évaporateur à cuvette
évaporateur à liner
en céramique ou carbone
creuset
en cuivre
alimentation
haute tension
canon
à électron
refroidissement d’eau
faisceau d’électrons 270°
Fig. 15.2 Différents types de creusets.
évaporateur à navette
évaporateur à canon d’électrons avec déflexion magnétique