10
Analyse et technologie des surfaces
2.3.2 Interféromètres
Un autre type d’instrument pour la caractérisation de la topographie est
optique: on applique le principe d’interférence de la lumière monochromatique ou
laser d’une longueur d’onde λ = 589 nm déterminée par une source à vapeur de
sodium. L’interférence de la lumière peut être mesurée par plusieurs méthodes dont
les plus connues sont les méthodes de Michelson et de Mirau (fig. 2.4 et 2.5). Ces
dispositifs se distinguent par le fait qu’on évite tout contact avec l’échantillon en
utilisant respectivement un prisme P ou un miroir diviseur M pour créer deux
rayons, dont un qui est réfléchi sur la référence R et l’autre qui est réfléchi par la
surface S de l’échantillon.
Fig. 2.3 Série de traces d’un profilomètre mécanique obtenues sur un réseau de diffraction.
50 µm
y
x
z
Fig. 2.4 Principe du dispositif de Michelson avec l’objectif O, la surface de référence R (miroir fixe),
le prisme diviseur P et la surface de l’objet S.
O
P
R
S
Analyse et technologie des surfaces
2.3.2 Interféromètres
Un autre type d’instrument pour la caractérisation de la topographie est
optique: on applique le principe d’interférence de la lumière monochromatique ou
laser d’une longueur d’onde λ = 589 nm déterminée par une source à vapeur de
sodium. L’interférence de la lumière peut être mesurée par plusieurs méthodes dont
les plus connues sont les méthodes de Michelson et de Mirau (fig. 2.4 et 2.5). Ces
dispositifs se distinguent par le fait qu’on évite tout contact avec l’échantillon en
utilisant respectivement un prisme P ou un miroir diviseur M pour créer deux
rayons, dont un qui est réfléchi sur la référence R et l’autre qui est réfléchi par la
surface S de l’échantillon.
Fig. 2.3 Série de traces d’un profilomètre mécanique obtenues sur un réseau de diffraction.
50 µm
y
x
z
Fig. 2.4 Principe du dispositif de Michelson avec l’objectif O, la surface de référence R (miroir fixe),
le prisme diviseur P et la surface de l’objet S.
O
P
R
S