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Analyse et technologie des surfaces
• Le rendement de pulvérisation dépend du rapport des masses des ions pulvérisants par rapport à ceux du matériau de la cathode.
• L’épaisseur de la chute cathodique décroît exponentiellement avec le flux
d’induction magnétique parallèle à la surface.
C’est le choix des matériaux employés qui détermine si notre cathode est une
source de matière à déposer ou un canon à électron.
La relation tension-courant de décharge est décrite dans la figure 12.12.
On rencontre trois caractéristiques différentes qui correspondent à des modes
de décharge différents:
• La décharge corona à faible courant correspond au régime où l’émission
d’électrons primaires par la cathode est la contribution principale au courant
cathodique. Elle correspond au cas où la lisière sombre cathodique occupe
tout l’espace inter-électrodes. La production d’ions est insuffisante pour soutenir une décharge lumineuse.
• La décharge luminescente comprend 2 tronçons: une partie où la tension
n’augmente pas avec le courant, appelée la décharge normale et une où elle
augmente jusqu’à un claquage: la décharge anormale.
• A partir d’une certaine densité de courant, la lisière lumineuse ne suffit plus
pour stopper tous les électrons. Ceux-ci ioniseront la colonne positive en
avalanche. La tension chute et continuera à diminuer avec la densité de courant.
Nous utilisons l’émission de lumière, qui accompagne la décharge luminescente, dans nos lampes néon.
V
I
décharge
luminescente
décharge arc
Fig. 12.12 Les relations courant-tension des différents modes de décharge.
décharge corona
Analyse et technologie des surfaces
• Le rendement de pulvérisation dépend du rapport des masses des ions pulvérisants par rapport à ceux du matériau de la cathode.
• L’épaisseur de la chute cathodique décroît exponentiellement avec le flux
d’induction magnétique parallèle à la surface.
C’est le choix des matériaux employés qui détermine si notre cathode est une
source de matière à déposer ou un canon à électron.
La relation tension-courant de décharge est décrite dans la figure 12.12.
On rencontre trois caractéristiques différentes qui correspondent à des modes
de décharge différents:
• La décharge corona à faible courant correspond au régime où l’émission
d’électrons primaires par la cathode est la contribution principale au courant
cathodique. Elle correspond au cas où la lisière sombre cathodique occupe
tout l’espace inter-électrodes. La production d’ions est insuffisante pour soutenir une décharge lumineuse.
• La décharge luminescente comprend 2 tronçons: une partie où la tension
n’augmente pas avec le courant, appelée la décharge normale et une où elle
augmente jusqu’à un claquage: la décharge anormale.
• A partir d’une certaine densité de courant, la lisière lumineuse ne suffit plus
pour stopper tous les électrons. Ceux-ci ioniseront la colonne positive en
avalanche. La tension chute et continuera à diminuer avec la densité de courant.
Nous utilisons l’émission de lumière, qui accompagne la décharge luminescente, dans nos lampes néon.
V
I
décharge
luminescente
décharge arc
Fig. 12.12 Les relations courant-tension des différents modes de décharge.
décharge corona