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Analyse et technologie des surfaces
Pour certaines applications on modifiera la zone trempée par un revenu.
Dans des cas de chauffage et/ou de refroidissement élevés, on obtient en surface une couche blanche sur la structure de laquelle trop peu d’études systématiques
semblent avoir été faites pour établir s’il s’agit d’une couche amorphe, vitreuse ou
nanocristalline (fig. 10.10).
10.5 OPTIONS TECHNOLOGIQUES
D’une part, les sources de chaleurs peuvent être classées selon leur configuration:
• illumination par des lampes,
• bain englobant toute la surface: fours, plasmas,
• passage lent dans une zone chauffée,
• balayage de torches ou de faisceaux.
Fig. 10.11 Arrangement de lampes pour un système de RTP (avec la permission de Applied Materials Inc.).
Fig. 10.10 Structure vitreuse obtenue par trempe superficielle (par courtoisie de CETIM).
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