Comparaison des méthodes analytiques
137
Tableau 8.1
Comparaison des méthodes.
Technique
XPS/ESCA
AES
SIMS
SNMS
GDOES
Ellipsométrie
STM
AFM/SPM
Principe
• excitation
hν
e –
ions
ions
plasma
hν
e –
force
• émission
e –
e –
ions
neutres ionisés
ions
hν
e –
force
• analyse
E(l)
E(cin)
m/z
m
/z
décharge lum.
Polarisation
I
(tunnel)
F
(x, y)
Information
éléments
liaison chimique
éléments
micrographie
éléments
molécules
isotopes
éléments
molécules
isotopes
élements
éléments
distribution des
atomes en surface
structure
distribution des
atomes en surface
topographie
Eléments
tous sauf H, He tous sauf H, He tous y compris
isotopes
tous y compris
isotopes
tous
tous, pourvu que les
constantes optiques
sont connues
conducteurs
tous
Isolants
oui
non
oui
oui
oui
oui
non
oui
Profils
oui
oui
oui
oui
oui
◊
◊
◊
Résolution
• en profondeur/
verticale
1-5 nm
1-5 nm
1-5 nm
1-5 nm
10% de l’épaisseur
< 0,1 nm
0,1-0,3 nm
0,2-0,3 nm
• latérale
2-15
µm
30-100 nm
80 - 200 nm
100-200 nm
◊
5 mm
0,2-0,3 nm
0,2-0,3 nm
Sensibilité
• volume
(poids/cm 3
)
mg
mg
mg
1-100 mg
1-100 mg
◊
◊
◊
• surface (poids/
cm 2
)
0,01 ng
0,01 ng
pg-fg
pg
pg
◊
◊
◊
Précision (%)
± 3-20
± 5-30
± 10-1000
≤ 3%
1%
◊
◊
◊
Anal.
quantitative
oui
oui
semi
oui
oui
◊
◊
◊