CHAPITRE 8
COMPARAISON DES MÉTHODES
ANALYTIQUES
Ce chapitre propose une comparaison des méthodes d’analyse des surfaces et
des couches minces et décrit les paramètres à considérer pour le choix de la
méthode. Un tableau comparatif illustrant les spécifications des méthodes est également proposé (tab. 8.1).
Les méthodes de caractérisation discutées aux chapitres 2 à 7 sont complémentaires, c’est-à-dire qu’il faut souvent en appliquer plusieurs pour résoudre le
problème posé. La sélection d’une méthode se fait par la nature des problèmes auxquels on doit répondre, par exemple:
• identification d’un élément → analyse qualitative,
• concentration et distribution d’un élément → analyse quantitative,
• analyse en surface ou en profondeur → résolution en profondeur,
• taille de l’objet à identifier → résolution latérale,
• élément présent seulement comme impureté → limite de sensibilité,
• conducteur ou isolant → «charging» d’un échantillon,
• analyse sous vide ou à pression atmosphérique,
• analyse chimique → identifier l’état de liaison,
• identification de l’hydrogène ou d’un isotope,
• identification d’un isotope,
• topographie de la surface.
Cette liste permet d’éliminer souvent une méthode rapidement; par exemple,
s’il s’agit d’un échantillon isolant qui doit être caractérisé, on ne fera pas d’analyse
AES.
Comme toutes les méthodes ont leurs avantages, il faut savoir choisir la
méthode appropriée au problème. Le tableau 8.1, qui compare les méthodes traitées
dans ce livre, peut aider à faire ce choix. En particulier, il indique la méthode
d’excitation par des électrons (e – ), par des photons (hν), par des ions (i ± ), par
l’application d’une force (F), quels éléments on peut identifier et si la méthode permet de mesurer des isolants. Le paramètre «profils» correspond à la question de
savoir si on peut obtenir une information sur la nature des couches minces avec des
interfaces internes. Le paramètre «résolution» correspond à la profondeur de pénétration des ions primaires qui détermine la résolution en profondeur des profils par
décapage ionique. Le tableau indique aussi la résolution latérale, la sensibilité et la
COMPARAISON DES MÉTHODES
ANALYTIQUES
Ce chapitre propose une comparaison des méthodes d’analyse des surfaces et
des couches minces et décrit les paramètres à considérer pour le choix de la
méthode. Un tableau comparatif illustrant les spécifications des méthodes est également proposé (tab. 8.1).
Les méthodes de caractérisation discutées aux chapitres 2 à 7 sont complémentaires, c’est-à-dire qu’il faut souvent en appliquer plusieurs pour résoudre le
problème posé. La sélection d’une méthode se fait par la nature des problèmes auxquels on doit répondre, par exemple:
• identification d’un élément → analyse qualitative,
• concentration et distribution d’un élément → analyse quantitative,
• analyse en surface ou en profondeur → résolution en profondeur,
• taille de l’objet à identifier → résolution latérale,
• élément présent seulement comme impureté → limite de sensibilité,
• conducteur ou isolant → «charging» d’un échantillon,
• analyse sous vide ou à pression atmosphérique,
• analyse chimique → identifier l’état de liaison,
• identification de l’hydrogène ou d’un isotope,
• identification d’un isotope,
• topographie de la surface.
Cette liste permet d’éliminer souvent une méthode rapidement; par exemple,
s’il s’agit d’un échantillon isolant qui doit être caractérisé, on ne fera pas d’analyse
AES.
Comme toutes les méthodes ont leurs avantages, il faut savoir choisir la
méthode appropriée au problème. Le tableau 8.1, qui compare les méthodes traitées
dans ce livre, peut aider à faire ce choix. En particulier, il indique la méthode
d’excitation par des électrons (e – ), par des photons (hν), par des ions (i ± ), par
l’application d’une force (F), quels éléments on peut identifier et si la méthode permet de mesurer des isolants. Le paramètre «profils» correspond à la question de
savoir si on peut obtenir une information sur la nature des couches minces avec des
interfaces internes. Le paramètre «résolution» correspond à la profondeur de pénétration des ions primaires qui détermine la résolution en profondeur des profils par
décapage ionique. Le tableau indique aussi la résolution latérale, la sensibilité et la