Profils en profondeur
105
Tableau 6.1 Rendement de décapage Y M (atomes/ion) de quelques métaux et de leurs oxydes pour
Kr + à 10 keV (d’après Kelly et Lam [6.5]).
6.6 ANALYSE QUANTITATIVE
6.6.1 AES et ESCA
Nous avons vu aux chapitres 3 et 4 qu’en ESCA et AES, l’intensité I A d’un
signal d’un élément A est décrite par:
(6.7)
Pratiquement, il s’avère que l’intégration peut être limitée à z ≤ 3λ et déterminée par le libre parcours moyen λ des électrons Auger ou des photoélectrons. Le
facteur g est défini différemment en AES et ESCA (éq. (3.15) et (4.8)). En ce qui
concerne les profils ESCA et AES, on mesure l’intensité I(t) des éléments choisis en
fonction de temps de décapage t l’ensemble des spectres détaillés (multiplex) qui
ont mené à l’intensité I(t). Signalons que ces spectres multiplex permettent de déterminer la nature des liaisons entre éléments et de corriger des erreurs en cas d’interférence de deux pics. Un traitement de données simple à réaliser est d’appliquer
(3.20)
(6.8)
élément
dans matrice métallique dans la matrice oxydée
Al
3,2
1,5
Mg
8,1
1,8
Mo
2,8
9,6
Nb
1,6
3,4
Si
2,1
4,2
Sn
6,7
15,3
Ta
1,6
2,5
Ti
2,1
1,9
V
2,3
12,7
W
2,6
9,2
Zr
2,3
2,8
I A
g c A z
( )
z
λ
θ
cos
--------------–
exp
⋅
z
d
0
∞
∫
⋅
=
c A t
( )
I A /S A
I i /S i
i 1
=
n
∑
------------------- -
=
105
Tableau 6.1 Rendement de décapage Y M (atomes/ion) de quelques métaux et de leurs oxydes pour
Kr + à 10 keV (d’après Kelly et Lam [6.5]).
6.6 ANALYSE QUANTITATIVE
6.6.1 AES et ESCA
Nous avons vu aux chapitres 3 et 4 qu’en ESCA et AES, l’intensité I A d’un
signal d’un élément A est décrite par:
(6.7)
Pratiquement, il s’avère que l’intégration peut être limitée à z ≤ 3λ et déterminée par le libre parcours moyen λ des électrons Auger ou des photoélectrons. Le
facteur g est défini différemment en AES et ESCA (éq. (3.15) et (4.8)). En ce qui
concerne les profils ESCA et AES, on mesure l’intensité I(t) des éléments choisis en
fonction de temps de décapage t l’ensemble des spectres détaillés (multiplex) qui
ont mené à l’intensité I(t). Signalons que ces spectres multiplex permettent de déterminer la nature des liaisons entre éléments et de corriger des erreurs en cas d’interférence de deux pics. Un traitement de données simple à réaliser est d’appliquer
(3.20)
(6.8)
élément
dans matrice métallique dans la matrice oxydée
Al
3,2
1,5
Mg
8,1
1,8
Mo
2,8
9,6
Nb
1,6
3,4
Si
2,1
4,2
Sn
6,7
15,3
Ta
1,6
2,5
Ti
2,1
1,9
V
2,3
12,7
W
2,6
9,2
Zr
2,3
2,8
I A
g c A z
( )
z
λ
θ
cos
--------------–
exp
⋅
z
d
0
∞
∫
⋅
=
c A t
( )
I A /S A
I i /S i
i 1
=
n
∑
------------------- -
=