Profils en profondeur
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Le rendement de décapage Y M qui est inversement proportionnel à l’énergie de
liaison selon (5.3) varie avec l’énergie primaire des ions E ion et l’angle d’incidence
θ comme illustré aux figures 6.3 et 6.4.
On observe que Y M varie approximativement comme log ( E ion ) et en 1/cos θ
pour des angles de θ = 0˚ à 45˚. La variation du rendement avec l’énergie et l’angle
est typique pour la plupart des éléments et composés inorganiques. Cette relation
nous permet de calculer d’autres valeurs de rendement à partir du tableau A5 (en
annexe) basé sur E ion = 1 keV. En appliquant (6.2) pour le Ta 2 O 5 ( ρ = 8200 kg m –3 ),
on obtient:
(6.3)
avec v en [nm/min] et J en [ µ A/cm 2 ].
Il arrive que la vitesse de décapage d’un matériau ne soit pas connue ou soit
difficile à mesurer. De même, en cas d’une variation de composition en profondeur
ou la présence de couches avec des vitesses de décapage différentes, on exprime
alors la vitesse en équivalent de Ta 2 O 5 [6.2]. Ceci est un moyen acceptable, même si
on admet une erreur d’un facteur 2-3 dans l’estimation de l’épaisseur.
6.4 RÉSOLUTION EN PROFONDEUR
La qualité d’un profil en profondeur est déterminée par la précision avec
laquelle on peut mesurer une interface. La résolution en profondeur ∆ z est définie
par la relation suivante:
(6.4)
Y M
20,888
v
J
-atome
ion
-------------=
∆z
v∆t
=
0
3 0
6 0
9 0
θ °
3
2
1
Y
M [atome/ion]
Fig. 6.4 Variation du rendement de décapage Y M de Ta 2 O 5 avec l’angle d’incidence des ions Ar + de
1 keV (d’après [6.1]).
1/cosθ
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Le rendement de décapage Y M qui est inversement proportionnel à l’énergie de
liaison selon (5.3) varie avec l’énergie primaire des ions E ion et l’angle d’incidence
θ comme illustré aux figures 6.3 et 6.4.
On observe que Y M varie approximativement comme log ( E ion ) et en 1/cos θ
pour des angles de θ = 0˚ à 45˚. La variation du rendement avec l’énergie et l’angle
est typique pour la plupart des éléments et composés inorganiques. Cette relation
nous permet de calculer d’autres valeurs de rendement à partir du tableau A5 (en
annexe) basé sur E ion = 1 keV. En appliquant (6.2) pour le Ta 2 O 5 ( ρ = 8200 kg m –3 ),
on obtient:
(6.3)
avec v en [nm/min] et J en [ µ A/cm 2 ].
Il arrive que la vitesse de décapage d’un matériau ne soit pas connue ou soit
difficile à mesurer. De même, en cas d’une variation de composition en profondeur
ou la présence de couches avec des vitesses de décapage différentes, on exprime
alors la vitesse en équivalent de Ta 2 O 5 [6.2]. Ceci est un moyen acceptable, même si
on admet une erreur d’un facteur 2-3 dans l’estimation de l’épaisseur.
6.4 RÉSOLUTION EN PROFONDEUR
La qualité d’un profil en profondeur est déterminée par la précision avec
laquelle on peut mesurer une interface. La résolution en profondeur ∆ z est définie
par la relation suivante:
(6.4)
Y M
20,888
v
J
-atome
ion
-------------=
∆z
v∆t
=
0
3 0
6 0
9 0
θ °
3
2
1
Y
M [atome/ion]
Fig. 6.4 Variation du rendement de décapage Y M de Ta 2 O 5 avec l’angle d’incidence des ions Ar + de
1 keV (d’après [6.1]).
1/cosθ