Spectrométries ioniques
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seront disponibles. La figure 5.10 montre un exemple d’un spectre d’un monocristal de
Si avec quelques contaminations à deux résolutions de masse. On constate qu’une
résolution de m/∆m = 3500 n’est pas suffisante pour séparer les pics de 56 Fe + du 28 .
5.5 ANALYSE QUANTITATIVE
Les ions secondaires peuvent être de différents types:
• ions monoatomiques à charge simple, positifs ou négatifs, M + , M – (par ex.
Cu + , S – );
• ions monoatomiques à charge multiple, M n+ , M n– (par ex. Si 2+ , O 2– );
• ions polyatomiques
,
(par ex.
,
);
• ions composés A n , A n
(par ex. CH 3
+ , Si );
• ions des isotopes naturels (par ex. 18 O – ).
Dans la pratique, l’analyse quantitative en SIMS se base sur l’utilisation
d’échantillons standard. Dans le cas de microélectronique, il s’agit de standards
implantés par un accélérateur de particules avec un flux d’ions bien connu ou de standards dopés avec des concentrations atomiques bien déterminées et proches des
concentrations expérimentales à déterminer. Prenons l’exemple basé sur des standards
d’ions implantés dans des matrices comme Si, Ge ou GaAs et qui utilise les facteurs
de sensibilité relatifs S i d’un élément i implanté dans une matrice M, défini comme:
Si 2
+
M n
+ M n
–
Si 3
+ O 2
–
B m
+
B m
–
O 2
–
Fig. 5.10 Spectre de masse des ions positive acquis par un analyseur te temps de vol d’un monocristal de Si avec une résolution de masse m/∆m (a) de 5500 et (b) de 3500.
500
500
0
0
intensité [c/s]
intensité [c/s]
(b)
(a)
55,95
56,00
56,05
m/z
56 Fe +
28 Si 2
+
28 SiCH 2 N +
28 SiC 2 H 4
+
C 3 H 4 O +
C 3 H 6 N +
C 4 H 8
+
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seront disponibles. La figure 5.10 montre un exemple d’un spectre d’un monocristal de
Si avec quelques contaminations à deux résolutions de masse. On constate qu’une
résolution de m/∆m = 3500 n’est pas suffisante pour séparer les pics de 56 Fe + du 28 .
5.5 ANALYSE QUANTITATIVE
Les ions secondaires peuvent être de différents types:
• ions monoatomiques à charge simple, positifs ou négatifs, M + , M – (par ex.
Cu + , S – );
• ions monoatomiques à charge multiple, M n+ , M n– (par ex. Si 2+ , O 2– );
• ions polyatomiques
,
(par ex.
,
);
• ions composés A n , A n
(par ex. CH 3
+ , Si );
• ions des isotopes naturels (par ex. 18 O – ).
Dans la pratique, l’analyse quantitative en SIMS se base sur l’utilisation
d’échantillons standard. Dans le cas de microélectronique, il s’agit de standards
implantés par un accélérateur de particules avec un flux d’ions bien connu ou de standards dopés avec des concentrations atomiques bien déterminées et proches des
concentrations expérimentales à déterminer. Prenons l’exemple basé sur des standards
d’ions implantés dans des matrices comme Si, Ge ou GaAs et qui utilise les facteurs
de sensibilité relatifs S i d’un élément i implanté dans une matrice M, défini comme:
Si 2
+
M n
+ M n
–
Si 3
+ O 2
–
B m
+
B m
–
O 2
–
Fig. 5.10 Spectre de masse des ions positive acquis par un analyseur te temps de vol d’un monocristal de Si avec une résolution de masse m/∆m (a) de 5500 et (b) de 3500.
500
500
0
0
intensité [c/s]
intensité [c/s]
(b)
(a)
55,95
56,00
56,05
m/z
56 Fe +
28 Si 2
+
28 SiCH 2 N +
28 SiC 2 H 4
+
C 3 H 4 O +
C 3 H 6 N +
C 4 H 8
+